江苏高端装备研制赶超工程项目申报指引.doc

2018年江苏省高端装备研制赶超工程 项目申报指南 根据《江苏省高端装备研制赶超工程实施方案》，现制定2018年江苏省高端装备研制赶超工程项目招标指南如下： 一、前沿新材料制造装备领域 专题一：12英寸半导体硅单晶炉 1.总体要求 通过自主研发，掌握先进成熟的单晶生长工艺，开发出适用半导体集成电路产业链上游原料生产的设备，形成从设备到单晶生长热场与工艺的整套解决方案。单晶炉拉晶过程要求全自动控制，工艺稳定性好，能耗低。 目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，并符合行业现行相关标准。 2.关键技术指标 单晶棒直径：≥12英寸； 晶向：100，111，110； 晶体直径控制范围：±2mm/1000mm； 等径功率：≤65kW； 热场：≥32英寸； 一次装料量：≥400kg； 主要热场部件寿命：180炉次。 专题二：硅片智能在线检测分选设备 1.总体要求 通过自主研发，实现光伏硅片几何尺寸和线痕、翘曲、崩缺、表面瑕疵、隐裂、电性能等的高速检测和分选，可兼容砂浆、金刚线、树脂等不同切割工艺生产的黑硅、多晶硅、单晶硅硅片产品；采用人工智能深度学习技术，对海量产品瑕疵特征实现自动归纳和建模；与MES系统无缝对接，满足智能工厂数字化车间一体化需求，实现数据管理与可视化分析统计功能，支持在线故障诊断与分析。 目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，本指南未列技术指标应不低