中南大学传感与检测ppt-ch5-电容传感器精讲.pptVIP

5.6 传感电容的等效电路与抗干扰问题 2）抗干扰问题 (2) 边缘效应 理想条件下平板电容器的电场均匀分布于两极板相互覆盖的空间，但实际在极板边缘附近的电场分布不均，尤其在极板边长与极板间距比值较小时，边缘电场的影响不能忽略。边缘效应使传感器的灵敏度下降、非线性增加。 减小影响的有效措施：减小极板厚度、加装等电位环。 5.7 测量电路 2）调频电路 这种电路把电容传感器作为振荡器电路的一部分，当被测量变化而使电容量发生变化时，能使振荡频率发生相应的变化。由于振荡器的频率受电容传感器的电容调制故称为调频电路。 5.8 电容式传感器的应用 (1) 电容测厚仪 当被轧板材的厚度相对于要求值发生变化时，Cx发生变化。 Cx增大表示板材变厚； Cx减小表示板材变薄。Cx的变化经电桥调节后，由耦合电容输出给运放进行放大，经整流滤波和差动放大后，一方面由显示仪表读出板材厚度，一方面通过反馈回路将偏差信号送压力调节器，控制板厚在规定范围内。 5.8 电容式传感器的应用 (3)测量电缆的偏心 测电缆芯偏心的原理如图所示，实用中是用两对电容， 分别测x向和y向偏移， 经计算得出偏心值。 (4)石英挠性伺服加速度计 此加速度计由固有频率很低的电容式加速度计和伺服回路两大部分组成，并 形成一个闭环的自控 系统，其结构原理如 图所示。 5.8 电容传感器的特点与应用 2）应用 可直接用于检测位移、物质的化学组成、电场等参数； 可间接用于其它可转换为位移或介电常数的量如压力、加速度、流体液位、流体成分等。 典型应用举例： 接近觉检测：人体接近探测、灯光开关、车辆探测； 非电量测量：流量（转换为压力、位移）、压力、液位、物质水份、空间距离、电容层析成像（多电极分布式测量，推导出检测范围的电介质分布，用于两相流）、厚度、线位移、角位移、惯性（通过加入弹性环节）。 5. 电容式传感器 5. 电容式传感器 图 ？(教材图3-19)电容测厚仪原理图 5. 电容式传感器 5.8 电容式传感器的应用 （2）电容式压力传感器 图a为单只变极距型电容式压力传感器，测流体或气体 压力。压力使膜片(动极板)位移而改变电容量，引起由该电容组成的振荡器的频率变化，通过鉴频，指示压力值。 图b为一种小型差动式电容压力传感器，由金属弹性膜片与镀金凹型玻璃圆片组成。被测压力P通过过滤器进入空腔时，弹性膜片两侧的压力差使弹性膜片偏向一侧而产生位移，该位移改变两个镀金玻璃圆片与弹性膜片间的电容量。 * * 第5章 电容式传感器 5. 电容式传感器 概述 原理：利用电容器将非电量转换成电容量变化。其传感作用的实质是一个可变参数电容器。 电容式传感器的特点： ①受本身发热影响小 ②静态引力小 ③动态响应好 ④结构简单，适应性强 ⑤可进行非接触式测量 主要不足： ①输出阻抗较高、带负载能力差；②寄生电容影响大 应用：测量压力、位移、角度、加速度、物位、湿度和成分介质特性等。 5.1 工作原理与结构类型 1）基本工作原理(以平板电容器为例) 忽略边缘效应时，金属平板作电极构成的电容器的电容为 式中：S—极板相对覆盖面积； ?—极板间距离； ?r—相对介电常数； ?0 —真空介电常数， ?0 ＝8.85pF/m； ?—极板间介质的介电常数。 上式中，?、S和?r中的某一项或几项变化可改变C。?或S的变化可反映线位移或角位移的变化，也可间接反映压力、加速度等的变化；?r变化可反映液面高度、材料厚度等变化。 S δ ε 5. 电容式传感器 5.1 工作原理与结构类型 2）电容传感器的三种基本结构类型 ①变极距(间隙?)型；②变面积型(S)型；③变介电常数(?r)型 下图给出了常见结构形式 5. 电容式传感器 说明：图(b)、 (c)、 (d)、 (f)、 (g)、(h)为变面积型位移传感器结构，图(a)和(e)为变极距型位移传感器结构，图(i)～(l)为变介电常数型结构。 5.2 变极距型电容传感器 极板1固定不动，极板2为可动极，当动极板随被测量变化而移动时，两极板间距变化，使电容量的变化为 变极距型电容传感器 特点：电容的变化量与极距的变化量呈近似线性关系，所以变极距型传感器设计成极距在极小范围内变化。 针对原理上的非线 性，常用差动结构来改 善，并可减小外界因素 影响(电压波动、环境 温度)。 δ 2 1 C C0 C-?特性曲线 式中，C0是极距为?时的初始电容量，极距相对变化??/?1. 5. 电容式传感器 5.3 变极距型传感器的性能与改善措施-差动结构 1）主要性能 (1)静态灵敏度