楔形阴极真空微电子三极管的计算机模拟.pdfVIP

楔形阴极真空微电子三极管的计算机模拟 第一章绪论 §1．1研究背景 真空微电子学是近年来必起的一门发展前景广阔的新兴学科，它是随着 大规模集成电路工艺和真空技术的发展丽出现的。真空微电子技术被定义为 与电子在真空中输运的各种器件有关的～种新技术，而且随着固体器件工业 的发展，还采用了现代微细加工技术。由于真空是一种理想的电子输运媒质， 所以，这种技术兼有传统的真空器件和半导体固体电路两类器件的优点，它 的出现不仅使传统的真空电子学发生巨大的变革，同时也为整个电子学的应 用和发展带来了巨大影响。 l-1．1真空微电子学的起源与发展 本世纪初发明的最早占统治地位的电子器件——真空电子管在无线电通 讯、雷达和计算机等领域得以广泛应用，它使电子技术发生革命性变化。但 是，由于这种电子管基于热电子发射的机理，决定了它具有热耗大、体积大 等缺点，限制了它的进一步发展和应用。随着人们对固体电子理论研究的展 开，1947年，贝尔实验室发明了晶体管。由于晶体管具有体积小、重量轻、 功耗低等电子管无法具备的优点，不仅导致了固态电子学的蓬勃发展，而且 使得固体器件占了绝对优势。尤其是在集成电路出现之后，电子管在很多领 域被晶体管或集成电路所代替。尽管真空电