全自动微小孔洞阻塞与磨耗检测系统开发-AOIEA自动光学检测设备.PDF

全自動微小孔洞阻塞與磨耗檢測系統開發 陳俊仁 張君勵 洪敏偉 財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心 feet@itrc.org.tw hankchang@itrc.org.tw niiat@itrc.org.tw 摘要 本文針對未知微小孔洞位置的待測物建立可全自動檢測微小孔洞阻塞與磨耗之檢測系統，此 系統的待測物檢測範圍可達500 mm x 600 mm ，其針對未知孔洞位置的待測物進行孔洞搜尋 之掃瞄速度可達3000 mm/min ，針對已完成孔洞位置搜尋的待測物，其逐孔檢測速度可達6000 mm/min 。本文已完成待測物微小孔洞位置搜尋、微小孔洞阻塞與磨耗檢測等相關測試。此檢 測系統主要由三軸電控平台、變焦鏡頭、CCD 攝影機、LED 光源與個人電腦所組成，其透過 個人電腦同時控制電控平台、CCD 攝影機與LED 光源，以針對不同待測物及檢測項目調整 檢測速度、光源強度與CCD 參數，以達到高準確度與高穩定性，其針對0.5 mm ~ 0.05 mm 的孔洞搜尋準確率可達百分之百。 關鍵字：阻塞檢測、磨耗檢測、掃瞄式檢測、自動對焦 前言 對於孔徑小於 0.5 mm 的微小孔洞，在孔洞的位置未知的情況下，要快速的檢測孔洞狀態有 其困難存在。對於電子業，由於同型號的電路板生產數量都相當龐大，其可以採用事先建 立孔洞位置資料表的方式，或者是採用線型 CCD 等快速掃瞄檢測的解決方案。前者必須花 費大量的人工成本，而後者則是必須花費較高的系統建構成本。筆者們於[1]於 2010 年完成 建立手動式微小孔洞檢測系統，具有自動辨識孔洞狀態、易清潔微小孔洞與操作簡易之優 點，但是其無法自動搜尋孔洞位置，亦無法記錄孔洞位置。而且檢測過程中鏡頭倍率改變 時，需要手動更換影像校正片與待測物，較為耗時。筆者們為了開發全自動檢測系統，於 2010 年建立掃瞄路徑建構與孔洞辨識之運算邏輯，建立可適用於圓形及矩形待測物之微小 孔洞搜尋。另外，筆者們為了改善待測表面傾斜及高度偏置所造成的影像失焦問題，於 2010 年建立了以影像式自動對焦法為基礎的表面傾斜度補償方法。本文係整合了筆者們近年的 研發成果，完成全自動搜尋孔洞位置，並進一步分析其阻塞與磨耗情形。 貳、 研究方法 本章節針對本文所使用的三個方法詳細說明，此三個方法分別是掃瞄路徑建構與孔洞位置 搜尋方法、自動對焦方法與路徑補償與阻塞檢測與磨耗檢測方法。 一、掃瞄路徑建構與孔洞位置搜尋方法 針對未知位置的微小孔洞，本文採用掃瞄式檢測方法。根據筆者先前建立的方法[1] ，首先 定義每個待測物中心位置，如圖 1(a)所示，接著依變焦鏡頭倍率及 CCD 攝影機的 CCD 單 元尺寸計算出取像範圍，然後排列可覆蓋住待測物所有表面的路徑，如圖 1(b)所示。本文 將只對圓形待測物進行檢測，因此僅列出圓形待測物的掃瞄路徑建立方法。在安排完掃瞄 路徑後，驅動檢測系統依安排的路徑，逐步在每個規劃的位置取像。在取像後，針對有微 小孔洞的影像計算微小孔洞位置與影像中心的偏置距離，然後代入該張影像的位置，即可 得到該微小孔洞在系統中的空間位置。由於孔洞位置未之，因此相同的孔洞可能出現在不 1 同張影像，但兩張影像的孔洞影像均不完整。此時，先判斷兩個孔的距離是否小於 0.5 mm ， 假如小於 0.5 mm ，則視為同一個孔，並以孔面積較大的影像所計算出的孔位置作為該孔的 空間座標。由於定位平台移動時多少會有誤差，因此相鄰的影像均有 0.2 mm 的重疊，避免 移動誤差造成微小孔洞位置遺漏。 Δx