双层辉光离子渗金属技术等离子体诊断初探-应用科学学报.PDF

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2019-05-25 发布于天津
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双层辉光离子渗金属技术等离子体诊断初探-应用科学学报

17　 2 　　　　　 Vol. 17 No. 2 1999 6 JOU RN AL OF APPLIED SCIEN CES June 1999 李成明　徐重　田林海　王建明　苏永安　　谢锡善　董建新　　　　　　　()　　　　　　　　　　() 　　. , , ,. 10 ,, 10 12 - 3 10 cm . 　　　 [1, 2] ,, . , (), (: 、). 、、 .: ; ,. ,,, . [3～ ] , ., 、, . 1　 . , 0. ,, - . mm X Y 0～ 1000V , S ( Mo) ∶S ( W)= 1∶4 , 20,, . 　　: 1998 03 04　: 1998 0 26 : , 1962,,,　030024 　　2 : 233 ,,,. . 2　 ,、、、、、、. , [6] ,. . ,,, . p lnI e V [7 ] 2 3 1/2 , : N i = {A cMp /( 2e A p) } , Ap ,Mp 2 2 ,A I V I = A Vp+ B . 40Pa、 400V、 20mm , 1.,, ,. 900V ,. ,. ,, .,,,, ,. ,,, . 　　 2, 1　 40Pa 2　　　　　 234 17　　 ,. 400 , 40 900 , 20 30 1000 . 40 , V Pa V Pa Pa V Pa 400V 20mm 3