以临界角法结合CCD影像撷取技术作表面形貌量测之研究rR=θθθθ.PDF

以臨界角法結合 CCD 影像擷取技術作表面形貌量測之研究 邱銘宏 林振勤 詹遠生 國立虎尾科技大學 國立虎尾科技大學 國立虎尾科技大學 光電與材料科技研究所 光電與材料科技研究所 光電與材料科技研究所 教授 研究生 研究生 mhchiu@.tw saxkingzcl@.tw myraygo@.tw 摘要 本論文提出以臨界角強度法結合 CCD 影像擷取技術來量測透明待測物之表面輪廓，此乃由光強度直 接轉換成高度之方法，巧妙地做成表面輪廓圖。當一個擴束光經過透明待測物時，由於待測物的表面 高度變化，造成穿透光有些微角度偏移，以致於入射至平行四邊形稜鏡時，偏離了原先靠近臨界角的 角度，造成靈敏的光強度增減，再以 CCD 擷取光強影像。由於待測物的表面高度變化與穿透光的強 度比反射率成正比，故可利用反射率變化來描繪待測物的表面形貌與輪廓。本實驗最大優點為不需掃 描待測物，即可獲得大範圍的待測物表面形貌。此外，也具有架構簡單、組裝容易、高靈敏度、高解 析度等優點。 關鍵字：臨界角強度法、表面輪廓、光柵 壹、前言 在 1930 年以前，完全是要憑觸覺來建立標準。檢驗時必須使用一系列具有不同粗糙度的試片，當工 廠製造試片人員在使用這些試片，先用其手指甲劃過標準的試片表面，然後再劃過其製造出來之工件 的表面，當感覺此兩表面具有相同的粗糙度時，即可確認製造出來工件表面為良品。隨著工業進展， 更多科技產品朝向輕、薄、短、小的目標邁進，所以用人力檢測已完全不符合時代的需求了。現今已 經發展出許多取代人力檢測的量測儀器，可以更精準地判別加工物件是否有缺陷及其他瘕疵，以節省 人力、成本、時間。因為超光滑表面的粗糙度檢測技術，已變的越來越重要，進而發展出更多的量測 儀器，從量測精度微米等級已進展為奈米等級。而國內外發表的有關表面輪廓、缺陷、粗糙度量測方 面的論文來看，數量大幅地增加。這表示表面粗糙度測量研究的趨勢為上升狀態，一方面是由於商用 儀器(如電子掃描顯微鏡 STM 、原子力顯微鏡AFM 和光學掃描干涉儀等)的發展及電腦運算能力、控 制技術的大幅提升；另一方面是由於尖端技術、精密工程等對零件的精密度提出越來越高的要求。 貳、 研究方法 一、臨界角反射率與待測物角度偏向原理 (一) 、電場振動方向平行於入射面(P 偏極光)之反射率 當雷射光由入射面折射率 n 投射在另一折射率 n 介質上，且入射角為θ 折射角為θ ，由界面上的電場 1 2 1 2 切線分量連續關係推得反射係數 rp ： n cosθ −n cosθ 2 1 1 2 r (1) p n cosθ +n cosθ 2 1 1 2 其 P 偏極光之反射率： 2 R r (2) p p 1 (二) 、臨界角法全反射原理 當光線由光密介質 n (折射率較大的介質)入射光疏介質 n (折射率較小的介質)時，折射光比較會偏離 1 2 法線，即入射角θ 小於折射角θ ，所以當入射角繼續增大時，之後將會使得折射角先達到90° ，折射 1 2 角為 90°時所對應的入射角我們稱之為臨界角(θ sin−