用于大口径平面镜检测的五棱镜扫描检测系统装调技术研究.PDF

激光与光电子学进展 52, 062202(2015) Laser Optoelectronics Progress ©2015《中国激光》杂志社 用于大口径平面镜检测的五棱镜扫描检测系统装调 技术研究 1,2 2,3 1,2 2,3 2,3 戚二辉 罗 霄 刘 泉 郑立功 张学军 1 中国科学院大学,北京 100049 2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033 3 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033 摘要 五棱镜扫描检测具有结构简单、检测周期短等优点，可实现低阶像差的高精度检测，是指导大口径、超大口径 平面镜光学加工的有效途径。基于光线矢量追迹理论，建立五棱镜扫描检测系统数学模型，并采用最小二乘法推导 出系统测量精度与系统主要光学元件角度变化量之间的解析表达式。在此基础上，分析了系统测量精度对元件装调 精度的灵敏度，给出了系统精确装调的实施方案，并进行了系统装调试验，探索出适合大口径平面镜检测的五棱镜扫 描检测系统装调流程。实验结果表明，由装调过程引起的系统测量误差可控制在40nrad以内。通过理论分析和装 调试验，验证了使用五棱镜扫描检测技术进行大口径平面检测的可行性。 关键词 光学设计;五棱镜;系统装调;光线矢量追迹 中图分类号 O439;TH741 文献标识码 A doi: 10.3788/LOP52.062202 StudyonAlignmentTechnologyofScanningPentaprismSystemfor TestingLargeFlatMirrors 1,2 2,3 1,2 2,3 2,3 QiErhui LuoXiao LiuQuan ZhengLigong ZhangXuejun 1 UniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing 100049,China 2 ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun,Jilin 130033,China 3KeyLaboratoryofOpticalSystemAdvancedManufacturingTechnology,ChineseAcademyofSciences, Changchun,Jilin 130033,China Abstract Thescanningpentaprismsystem(PPS)isaneffectivemethodforguidinglargeflatopticalprocessing, duetoitsadvantagessuchassimplestructure,hightestingefficiencyandprecisemeasurementofloworder aberrations.ThispaperestablishedPPS′smathematicalmodelaccordingtovectorialraytracingtheory,theanalytical relationshipbetweenPPS′sperformanceanditscomponents′angularmotionisobtainedbyleastsquarefitting,which isuse