火焰合成纳米TiO2薄膜氧感应特性的试验研究.PDF

中国工程热物理年会 燃烧学 学术会议论文 编号：144139 火焰合成纳米TiO 薄膜氧感应特性的实验 2 研究 * 苗 竹，张 扬，张 海，刘 青，杨海瑞 （清华大学热能工程系 热科学与动力工程教育部重点实验室，北京 100084） （Tel: 010 Email: haizhang@tsinghua.edu.cn） 摘 要：在不同工作温度和氧气浓度下实验测得采用火焰合成方法制备得到 TiO 气敏薄膜传感器的氧 2 感应特性，结果显示纳米薄膜的感应基线电阻稳定，氧响应速率快，氧表面化学吸附速率显著高于化 学脱附速率；传感器灵敏度S 与氧浓度C 之间线性度较好，可以满足实际氧传感器的使用要求，灵敏 o 度受工作温度影响较大，随温度升高传感器灵敏度先增加后减小，最佳工作温度为550 C。 关键词：火焰合成；TiO ；氧传感器；纳米材料；气敏薄膜 2 0 引言 [1] 火焰合成法得到纳米二氧化钛 （TiO ）颗粒以表面活性较高的锐钛矿型为主 ，这 2 些纳米颗粒制成所得的薄膜比表面积大，存在充足表面缺陷充当活性位，包括氧空位、 [6-10] 台阶、凹陷等非周期性结构的表面缺陷，具有较高表面活性 ，是制备薄膜气体传感 器的理想材料 [2-5] 。环境气体的组分和浓度不同，薄膜表面反应气体分子和晶格之间的 交换强度不同，薄膜内载流子浓度变化不同，最终导致薄膜体电阻的变化规律不同，因 此通过检测气敏薄膜电阻可得到环境气体的成分信息。 薄膜表面氧化学吸附-脱附过程为被测气体表面反应提供充足活性氧离子，对薄膜 综合气敏感应性能起决定性作用 [12-14] 。典型气体感应过程如下：[2] − − O +2s → 2O (1) 2 − − 2O → O +2s (2) 2 − − M +O → MO + (3) - - 其中s 代表表面活性位，O 代表氧气表面化学吸附后形成的活性氧离子，MO为被测 气体分子M经过活性氧离子氧化后的产物。