银纳米薄膜在室温大气条件下的氧化机理-硅酸盐学报.PDF

· 954 · 硅 酸 盐 学 报 2008 年 第36 卷第7 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 36 ，No. 7 2 0 0 8 年 7 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY J u l y ，2 0 0 8 银纳米薄膜在室温大气条件下的氧化机理 杨晓东，赵青南，韩 宾，赵修建 (武汉理工大学，硅酸盐材料工程教育部重点实验室，武汉 430070) 摘 要：采用磁控溅射法在预镀ZnO 掺Al 薄膜的玻璃基片上制备了银纳米薄膜。研究了Ag 纳米薄膜暴露在室温大气条件下连续60 d 的氧化现象、 过程和机理。用光学显微镜、原子力显微镜、X 射线光电子能谱仪、紫外–可见光谱仪和四探针电阻测试仪对薄膜的形貌、成分和性能进行了表征。 结果表明Ag 纳米薄膜在室温大气中易被氧化而失去其优异光电性能的机理是：首先是大气中的 O2 化学吸附在薄膜表面，引起表面重构；然后含 S 的小分子气体(如：H S，SO )化学吸附在薄膜表面，引起表面重构；最后Ag 纳米薄膜在O 和含 S 的小分子气体作用下被氧化成大量圆锥形柱状的 2 2 2 Ag S 和少量的Ag SO ；大气中的CO 和N 不会与Ag 纳米薄膜反应。 2 2 4 2 2 关键词：银纳米薄膜；硫化银；硫酸银；氧化；磁控溅射 中图分类号：TQ171 文献标识码：A 文章编号：0454–5648(2008)07–0954–06 OXIDATION MECHANISM OF SILVER THIN FILMS UNDER ROOM TEMPERATURE AND ATMOSPHERIC ENVIRONMENT YANG Xiaodong，ZHAO Qingnan ，HAN Bin ，ZHAO Xiujian (Key Laboratory of Silicate Materials Science and Engineer of Ministry of Education, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China) Abstract: Silver thin films were deposited on the aluminum-doped zinc oxide-coated soda-lime glass substrates by radio frequency magnetron sputtering method. The oxidation phenomena, process and mechanism of the silver thin films under room temperature and atmospheric environment were investigated for 60 d. The morphology, composition and properties of the films were characterized by optical microscope, atomic force microscope, X-ray photo