非轴对称型滤波器在傅里叶变换轮廓术中的应用.PDF

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2019-07-06 发布于天津
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非轴对称型滤波器在傅里叶变换轮廓术中的应用

30 6 光　子　学　报　　　　　　　　　　　　　　　Vol. 30 No . 6 2001 年 6 月　　　　　　　　　　ACTA PHOT ON ICA SINICA 　　　　　　　　　June 2001　司书春　王蕴珊　徐建强　周灿林 ( , 250061) 本文提出在傅里叶变换轮廓术中的一种新滤波器- 非轴对称滤波器, 其适用于物体表面形貌在频域的分布具有非轴对称性的情形. 合理的使用非轴对称滤波器可使测量结果保留更多的高频细节. 三维形貌; 傅里叶变换轮廓术; 滤波器 0 , , ; , , ; , . , 12 , . , . , , 3 , . ( ) , , , X , , , . . 1 , ( , , CCD ) , , , , 1 , , . , . , , , , 1 . Fi . 1Deformed frin e pattern of serrat ion 收稿日期: 2000-11-2 1 75030 , 4 ( ( , ) = ( , ) + ( , ) [ 2 0 160 ) . g x y a x y b x y cos f x Y + (x , y ) ] ( 1) C (f x g ( x , y ) , - 0, y ) , ( x , y ) 5 f f C f f ( , ) , ( , ) a x y b x y 6 ( , ) . ,f o X ( , ( Y ) , ) . (x , y ) , . , ( 1) g (x , y ) = a(x , y ) + c(x , y ) exp( 2if 0x ) + * ( , ) ( - 2 0 ) ( 2) c x y exp if x c(x , y ) = ( 1/ 2) b(x , y ) exp[ i(x , y ) ] ( 3) 5 ( 2) ( x , y) = ( x , y ) + ( x - 0 , y ) 3 G f f A f f C f f f + C* (f x + f 0,f y ) ( 4)