各种氧化硅相在薄膜中的性质.PDF

各种 化 相 膜 氧 硅 在薄 中的性质 , 主 。 要 文综述 了各种 硅相在 膜中的 同 地讨论 和 膜 的性质 搞 本 氧化 薄 性质 时较充分 学和结 变 的关系。 化 构 化 , 制 出 的膜 硬的和牢固的 同 这样 备 来 是 历 史 发 展 也很 用于作 和 制 司 时 适 保护膜 复 。 ’。 “ , 由于其突出的介质特 及其 在 光 膜 ‘ 它们 作为电 膜 〔’ 作为红外 性 也可 绝缘 。 ’ ’ 学和 电子技术上稳 性而经常被 用 因此 区介 电膜 可用作 谓陶瓷金属 定 采 并 所 ’ 。 〔 ““ 在发展 膜 时依 这种 料是 显 易见 , 膜的垫人 薄 技术 靠 材 而 一 介质 。 “ 的 在 毫微米之下的强吸收 和折射率 在 二 大战期 已经以工业 为 。 「 」 光学 层膜 系 不 第 次世界 间内 规 一 使