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传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 9.2 湿敏传感器 绝缘层 上 电 极 下 电 极 最 新 湿 度 测 量 应 用 领 域 为什么要测量湿度? 温湿度变送器 h, T x 室 内 空 气 质 量 100% rH 贮 存 / 催 熟 生 产 空 气 质 量 烘 干 过 程 耗费最低的能量 达到 / 保持成品的最佳品质 让设备高效率地进行生产 - 更舒适 更高的工作效率 使产品或原材料达到最佳品质 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 9.2 湿敏传感器9.2.1 氯化锂湿敏电阻 氯化锂湿敏电阻即电解质湿敏电阻，利用物质吸收水分子而导电率发生变化检测湿度。 在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl以正负离子的形式存在，锂离子（Li+）对水分子的吸收力强，离子水合成度高，溶液中的离子导能力与溶液浓度成正比，溶液浓度增加，导电率上升。 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 9.2 湿敏传感器9.2.1 氯化锂湿敏电阻 当溶液置于一定湿度场中，若环境RH上升，溶液吸收水分子使浓度下降电阻率ρ上升，反之RH下降，溶液吸收水分子使浓度上升，电阻率ρ下降。 通过测量溶液电阻R值实现对湿度测量。 氯化锂湿敏电阻 * 传感器原理及应用 第9章 半导体式传感器 传感器原理及应用 9.1 气敏传感器 9.2 湿敏传感器 9.3 色敏传感器 第9章 半导体传感器 主要内容： 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 半导体传感器是典型的物理型传感器，它是利用某些材料的电特征的变化实现被测量的直接转换，如改变半导体内载流子的数目。 凡是用半导体材料制作的传感器都属于半导体传感器。 其中包括：光敏电阻、光敏二极管、光敏晶体管、霍尔元件、磁敏元件、压阻元件、气敏、湿敏等等。 概述 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 概述 纸 品 木材烘干 湿度传感器 芯片生产要求最高的湿度稳定性 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 概述 气敏传感器 湿敏 传感器 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 气敏传感器是用来检测气体浓度和成份的器，由于气体种类很多，性质各不相同，不可能 用同一种气体传感器测量所有气体，如： 工业天然气、煤气等易燃易爆的安全监测； 环境保护，有害、有毒气体监测； 酒后驾车，乙醇浓度检测。 9.1 气敏传感器 传感器原理及应用 第9章??????半导体式传感器 9.1 气敏传感器 9.1.1 半导体气敏传感器工作原理 气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应，导致敏感元件阻值变化，如： 氧气等具有负离子吸附倾向的气体，被称为氧化型气体——电子接收性气体； 氢、碳氧化合物、醇类等具有正离子吸附倾向的气体，被称为还原型气体——电子供给性气体。 传感器原理及应用 第9章??????半导体式传感器 当氧化型气体吸附到N型半导体上， 半导体的载流子减少，电阻率上升； 当氧化型气体吸附到P型半导体上， 半导体的载流子增多，电阻率下降； 当还原型气体吸附到N型半导体上， 半导体的载流子增多，电阻率下降； 当还原型气体吸附到P型半导体上， 半导体的载流子减少，电阻率上升； N型半导体与气体接触时的氧化还原反映 9.1 气敏传感器 9.1.1 半导体气敏传感器工作原理 传感器原理及应用 第9章??????半导体式传感器 9.1 气敏传感器 9.1.1 半导体气敏传感器工作原理 组成：敏感元件、加热器、外壳； 制造工艺：烧结型、薄膜型、厚膜型。 气敏电阻的材料是金属氧化物，合成时加敏感材 料和催化剂烧结，这些金属氧化物在常温下是绝缘 的，制成半导体后显示气敏特性。 金属氧化物有： N型半导体，如：SnO2 Fe2O3 ZnO TiO P型半导体，如：CoO2 PbO MnO2 CrO3 传感器原理及应用 第9章??????半导体式传感器 通常器件工作在空气中 由于氧化的作用，空气中的氧被半导体（N型半导体）材料的电子吸附负电荷，结果半导体材料的传导电子减少，电阻增加，使器件处于高阻状态； 当气敏元件与被测气体接触时会与吸附的氧发生反应，将束缚的电子释放出来，敏感膜表面电导增加，使元件电阻减小。 9.1 气敏传感器9.1.1 半导体气敏传感器工作原理 传感器原理及应用 第9章??????半导体式传感器 9.1 气敏传