光学薄膜在投影显示和光开关中的应用-光学工程专业论文.docxVIP

浙江大学硕士学位论文摘要 浙江大学硕士学位论文 摘要 7二十世纪90年代以来，显示技术和光通信技术的迅猛发展和产业化，极大 的促进了光学薄膜的发展，同时也对光学薄膜提出了更多更高的要求。论文针对 液晶投影显示和液晶光开关器件的要求，对系统中的光学薄膜进行了深入的研究 和探讨。论文主要包括以下几个方面内容： 设计了液晶偏振光开关器件，其机理是利用外加电场使液晶光轴发生变化， 进而导致折射率的变化．从而产生全反射或高透过，实现了高截止度和大消光比。) 论文对液晶器件中的ITO薄膜进行了分析研究。应用Drude模型，根据正入 射时的透射率曲线拟合得到ITO薄膜在可见光和近红外的复折射率，比较探讨 了用电子枪蒸发法和磁控溅射法制备的ITO薄膜在近红外波段的折射率和消光 系数的差异；设计制备了光通讯中用的垂直入射透明电极，其透过率达到96％； 设计得到了液晶偏振光开关器件使用的透明电极，其工作时红外C波段平均反 射率在0．2％以下。 分析了液晶投影显示技术中的宽波段宽角度偏振分光器件，利用多个介质膜 堆的叠加得到初始结构，再经优化得到最终设计：并制备了性能良好的宽波段偏 振分光器件，其透射消光比达到700：1。 设计制备了Phil／ps棱镜分色合色系统使用的长波通和短波通膜系；并通过更 换低折射率材料将长波通和短波通膜系的s．和p．偏振分离从7nm缩小到4rim： 采用不同的消偏振结构，将长波通和短波通膜系的s．和伊偏振分离分别降低到 2 lnm和2．3rim。 论文讨论了眼镜改性薄膜的设计和制备，根据树脂镜片绿色减反射薄膜的特 殊要求，成功研制了用于工业生产的稳定的绿色减反射薄膜。 关键词：光学薄膜，Philips棱镜，光开关，1TO，偏振分光，苌琵楚通。短波通i 消馈振，嘲 塑坚查兰曼圭兰垒堡塞．——Abstract 塑坚查兰曼圭兰垒堡塞．—— Abstract Since 1990s，the rapid development of projector display and optical communications promotes optical thin film’S progress，and more technology requests appear in the optical omtmg field．In response to the demands of liquid crystal(LC) projector and LC optical switch,optical thin films correlated are designed and discussed．The research work in this paper is as follows． LC optical switch designed in this paper is based on optical modulation that the electric field CaB change the direction of optical axis of liquid crystal，resulted in the variance of refractive index．It Pan achieve higll cutoff and great extinction COOfficient． The indium-tin-oxide(rro)thin films are discussed．Using Drude model，the refractive index of ITO thin films is estimated with the measured transmittance．The optical performance仳k)differences between ITO thin films developed by magnetron sputtering and those by e-beam evaporation ale compared．An ITO structure is produced with the average transmittance 95．9％from 1．1pzn to 1．Tpm． Another ITO structure is designed with the reflectance lower than O．2％in C band of optical communications． The design of broadband and wide angle Polarizing Beam Splitter(PBS)is optimized with the pr