金属材料扫描电镜观察与分析.pptVIP

机械工程实验教学中心 金属材料扫描电镜观察及分析 实验目的 了解扫描电子显微镜的基本工作原理； 了解扫描电子显微镜的基本操作； 对扫描电子显微镜照片能作基本分析。 实验原理 　　 在结构研究中，大量的样品需要在高放大倍数、更多细节的水平上进行观察和分析。同时，随着样品种类的不断增多（如：低原子序数材料，不导电材料等），需要扫描电子显微镜提供优异的低加速电压性能，以获得高质量的真实表面图像。SEM －6460 扫描电子显微镜就是根据这一要求而设计的。它还提供了低加速电压的背散射电子图象，同时安装了能谱仪器仪系统，可对材料进行形貌观察、能量散射X 射线分析和二元合金组成的背散射电子图像分析，其最新应用还包括：计量分析、立体观察、图像分析与处理、半导体结晶学和缺陷探测等。 扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5 ～35keV 的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转