第7讲_电子光学基础_111028.pptVIP

二、电子在电磁场中的运动和电子透镜 a.回忆X射线管的原理 b.电子束产生装置：电子枪（后面结合电镜的内容讲） c.电子束如何聚焦？－－首先要了解电子束的在电场和磁场中的运动 静电透镜等位面及电子轨迹 静电透镜的缺点： 需要很强的电场，在低真空度下导致镜筒内击穿和弧光放电 现代电子显微镜用磁透镜替代！！！ 磁透镜及电子在磁场中的运动 会聚原理 磁透镜与光学透镜聚焦比较 色差 电磁透镜的景深和焦长 四、电子与固体物质的相互作用（重点掌握） 相互作用产生的电子信号 初级电子：背散射电子、透射电子、吸收电子 次级电子：二次电子、俄歇电子、特征能量损失电子 背散射电子：电子射入试样后受到原子的弹性和非弹性散射，散射角大于90度（大于50eV）从试样表面逸出的电子 透射电子：穿透试样射出的电子。弹性散射电子（10－20nm厚），成像比较清晰 吸收电子：通过多次非弹性散射能量消失殆尽的电子，不产生其他效应 二次电子：入射电子与原子核外电子碰撞，将核外电子激发到空能级或使其逸出试样表面形成的电子（低于50eV ） 俄歇电子：二次电子的一种。表面原子内壳层的电子被电离后，处于激发态的原子恢复到基态时发射出的电子 电子信号产生的深度和广度 信号的应用 1、成像进行显微结构及形貌观察。如SEM（二次电子）、TEM（透射电子）； 2、晶体结构信息。通过电子衍射及衍射效应获取点阵类型、常数、晶体取向和完整性（衍射操作）。 3、进行表面及微区成分分析。如Auger（俄歇电子）、EPMA（电子探针）、EDS（能谱）等 本讲小结 掌握电子光学与几何光学的区别 掌握电子在电磁场中的运动规律 掌握影响电磁透镜分辨本领的主要因素、景深和焦长的含义 掌握电子与固体试样作用产生信号、作用范围和应用 本讲的重点是电子与固体的相互作用，因为很多电镜就是利用这些作用的信号制成的 重点掌握二次电子、透射电子、特征X射线等信号为掌握后继的仪器做好铺垫 练习题7 1、电子光学与几何光学有何相似之处？ 2、加速电压与电子的波长的关系怎样？ 3、电子在电场和磁场中怎样运动？ 4、电子与固体试样作用产生哪些电子信号？各种信号的深度和广度范围多大、有何应用？画出示意图。 5、两块电位分别为Ua和Ub的平行板电极，电极尺寸比间距大得多，即电极间为匀强电场，一个入射电子的初速度为v，与等位面的夹角为φ，求运动轨迹？ 6、有一个匀强磁场为B，一个入射电子的初速度为v，与B的夹角为φ，求运动轨迹？ 7、物与相的相似性取决于什么？画图说明显微镜的阿贝成像学说。 8、什么是相差？有几大类？各有什么特点？如何校正相差？ 景深：透镜物平面允许的轴向偏差定义为透镜的景深。（与普通光学显微镜的重要差别！） 从原理上讲，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面重合，能在透镜像平面上获得该层平面的理想图象，而偏离理想物平面的物点都存在一定程度的失焦，他们在透镜像平面上将产生具有一定尺寸的失焦圆斑，如果失焦圆斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透镜像分辨本领并不产生影响。 焦长：透镜像平面允许的轴向偏差定义为焦长。 当透镜焦距、物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动，也会引起失焦。如果失焦尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么像平面在一定的轴向距离内移动，对透镜像分辨率并不产生影响。 景深和焦长是电子光学的两个重要概念，是普通光学显微镜不具备的特点。 I0=IB+IS+IT+IA 强度关系 与试样相互作用的大小和形状： 取决于电子束能量、原子序数、入射方向 用Monte-carlo模拟计算 倒梨形作用区 1、俄歇电子：深度1nm 2、二次电子：深度 10nm 3、背散射电子：取决 于电子能量和原子 序数 4、X射线：深度和广度 范围大 * * 第二部分 电子显微分析 第7讲 电子光学基础 2011年10月28日 一、电子光学基本知识1 分辨本领 1) 人的眼睛仅能分辨0.1~0.2mm的细节2) 光学显微镜，人们可观察到象细菌那样小的物体。3) 用光学显微镜来揭示更小粒子的显微组织结构是 不可能的，受光学显微镜分辨本领(或分辨率)的 限制。分辨本领： 指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。通常以物镜的分辨本领来定义显微镜的分辨本领。 概念 光学显微镜通常多大倍数？试样有怎样的要求？ 两斑点的成像 孔径 α 光学透镜分辨本领:  式中：λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，n 是透镜上下方介质折射率，n·sinα或N·A称为数值孔径。 γ 阿贝Abbe 在介质为空气的情况下，任何光学透镜系统的N·A值小于1。 γ ≈