高科技厂房设施工程与关键技术.PDF

高科技廠房設施 工程與關鍵技術 張陸滿 國立臺灣大學土木工程系教授 高科技廠房設施研究中心主任 地址：台北市羅斯福路四段一號 電話： 02-3366-4269 luhchang@.tw 高科技廠房設施工程 之定義 關於「高科技」國內外有很多單位賦予不同的 定義 。國際經濟合作發展組織 (OPED)將航 太科技、藥品配製、電腦資訊機械、 通訊器材和科學儀器等定義為高科 技產業。行政院經濟 規劃委員會 (CEPD)將高科 技產業分為六個類別。包括積體電路、光電儀器、生物醫學、遠距 通訊、精密機械、和電腦週邊設備。高科技 產業在本文裡則包括微電子學、光電 、精密儀器、 電 子通訊 、奈米科技、藥品配製、微生物研究、醫療設備、動物實驗、航太科技 等產業 。 高科技廠房設施就是指高科技產業研發製造中所需的工廠實驗室 ，譬如建築、水電空調、 儀表控制、管線設備 、廢水廢氣處理 、環境生態保護 等等設施。高科技廠房設施工程係指規 劃、設計、採購、施工 、試車、移交、維護及經營管理高科技廠房設施 之相關工程。 提升高科技中半導體廠房設施之重要性 根據國際半導體技術藍圖在 2009 年之報導，國際半導體及相關產業將於 2012 年進入 32 奈米(Mpn/ASIC 1/2 Pitch)線寬， 14 奈米閘寬(Gate Length) ，及18吋晶圓 之製程技術，廠房設 備工程從施工興建至開始裝設生產設備，將於九個月內完成。 但要推進提昇台灣半導體製程技術的 到線寬 32 奈米，閘寬 14 奈米及晶圓 18吋層次 ，廠 房和實驗室等設施之設計、建造、驗證、完成及轉移使用，是 半導體研發製造提昇中一個不 可或缺的先決條件 。提升台灣半導體之製程技術，廠房設施之研發亦應積極配合，不可等閒 視之，必頇未雨綢繆加速研發 。 半導體之研發製造過程中，對於環境控制的要求甚為嚴格，隨著製程閘寬 (Gate Length) 愈 來愈小 （如圖一），晶圓愈來愈大 （如圖二），廠房設施之興建是愈來愈快 （如圖三），投資金 額愈來愈高（ 如圖四 ）。而台灣半導體發展至今， 12吋廠房有 18 座，8吋廠有 20 座，而 2010 年 12吋廠將達 30 座，台灣 12吋晶圓年產一百二十萬片 並將領先全球。半導體對台灣經濟愈 1 來愈重要 。而廠房設 施之要求亦愈來愈高 ，其研發製造必頇在嚴格控制的潔淨室中 進行 （如 圖 五），因此提昇半導體廠房設施之精密潔淨 等級為目前相當重要之課題。 潔淨室早期環境控制 之重點 主要在於處理空氣顆粒的髒塵 。但是現今 ，高科技時代下的 環境控制則有更寬廣的意義，包含溫濕度、空氣與水的品質、化學物質與氣體的純度、噪音 與微振程度、電磁波與電頻干擾、靜電消除、去氣物質 (out-gassing) 、安全接地、人員健康、 安全之確保與生物病毒危害之防治。 為了支援台灣半導體製造技術之更上一層樓，並藉此加強台灣半導體技術持續領先優勢 之基礎 ，台灣大學土木系組織跨科系領域之研究團隊，與國科會、台積電 、聯電 、工研院共 同合作 ，開發 半導體廠房設施之關鍵技術 。研究團隊成員來自物理、化學、生物、土木、機 械、電機、電信、電腦、環工、工程科學、經濟等科系。 LLLL Gate oxideGate oxideGate oxide WWWW