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上海市方达律师事务所 法律意见书 上海市方达律师事务所 关于中微半导体设备（上海）股份有限公司 首次公开发行人民币普通股（A 股）股票并在科创板 上市的 法律意见书 2019 年3 月 3-3-1-1 上海市方达律师事务所 法律意见书 FANGDA PARTNERS 上海 Shanghai·北京 Beijing·深圳 Shenzhen·广州 Guangzhou·香港 Hong Kong 中国上海市石门一路288 号 电子邮件 E-mail: email@ 兴业太古汇香港兴业中心二座24 楼 电 话 Tel.: 86-21-2208-1166 邮政编码：200041 传 真 Fax: 86-21-5298-5599 24/F, HKRI Centre Two, HKRI Taikoo Hui 288 Shi Men Yi Road Shanghai 200041, China 上海市方达律师事务所 关于中微半导体设备（上海）股份有限公司 首次公开发行人民币普通股（A 股）股票并在科创板上市的 法律意见书 致：中微半导体设备（上海）股份有限公司 上海市方达律师事务所 （以下简称“本所” ）是具有中华人民共和国 （以下简 称“ 中国” ）法律执业资格的律师事务所。根据中微半导体设备 （上海）股份有限 公司 （以下简称“发行人” ）与本所签订的法律顾问协议，本所担任发行人首次公 开发行人民币普通股 （A 股）股票 （以下简称“本次发行” ）并在科创板上市 （以 下简称“本次发行上市” ）的特聘专项法律顾问，并以此身份为本次发行上市出具 本法律意见书。 本所依据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》及其他适用 的法律、行政法规及适用的政府部门其他规章、规范性文件的规定，根据《公开 发行证券公司信息披露的编报规则第 12 号——公开发行证券的法律意见书和律 师工作报告》（证监发[2001]37 号）的要求，按照律师行业公认的业务标准、道 德规范和勤勉尽责的精神，对发行人提供的有关文件和事实进行了核查和验证， 出具本法律意见书。 本所及本所律师根据《证券法》、《律师事务所从事证券法律业务管理办法》 和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出具日 以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信 用原则，对发行人的行为以及本次发行上市申请的合法、合规、真实、有效进行 3-3-1-2 上海市方达律师事务所 法律意见书 了充分的核查验证，保证本法律意见书不存在虚假记载、误导性陈述及重大遗漏。 本法律意见书系依据本法律意见书出具日以前已经发生或存在的事实和现 行有效的中