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第4章 电子显微镜分析基础 分辨率定义: 当两个Airy斑中心间距等于Airy斑半径时 物平面上相应的两个物点的间距(Δro) 显微镜放大倍数=人眼分辨本领/分辨率=400000/λ 为什么不用紫外X射线做照明光源？ 紫外: 容易被物质强烈吸收 X射线:　难以改变方向、发生折射及聚焦成像 二、电子光学基础 电子显微镜是利用电子束流作为光源使物体成像的 电子束流实际上是一种阴极射线流　是一种带负电的粒子流　它具有波动性和粒子性 把h＝6.62×10-34J·s、e＝1.60×10-19C、m0＝9.11×10-31kg数值代入上式可以得到： 加速电压比较高时　电子波长计算必须引入相对论校正，其表达式为： 把h、 m0值代入得： 　电子波长比可见光波长短得多　　 　利用电子作为光源　可以大大提高显微镜的分辨本领和有效放大倍数　 　只要能够造出使电子聚焦的透镜　就能获得高分辨率、高放大倍数的图像　 电子束在电场作用下折射 当一个电子在磁场中运动的时候 如果它平行于磁场的磁力线方向 就不受外力影响 外力使电子在一个包含电子运动方向和垂直于磁力线方向的平面上运动 如果磁场强度是常数 电子运动轨迹在垂直于磁力线的平面上描绘出一个圆 这个圆的半径(r)由向心力和电磁场力所决定 可以由下面的方程式表达： 在电子光学系统中使用的是一种具有旋转对称非均匀的磁场 这种磁极装置叫做磁透镜 一束平行于主轴的入射电子通过电磁透镜后 将被聚焦在轴线上一点 即焦点 这与光学玻璃 凸透镜对平行轴线入射的光线的聚焦作用十分相似 这表明 电磁透镜与光学凸透镜有相似的光学性质 电磁透镜的物距L1、像距L2和焦距f之间的关系也可以用光学显微镜成像原理公式表达： 电磁透镜的像放大倍数(M)也可以用下式表明： 2.3 电磁透镜的像差、分辨本领、景深和焦长 理论上 电子显微镜的分辨率很高 但事实上 其分辨率远达不到理论值 WHY? 像差！ 2.3.1 电磁透镜的像差 电磁透镜存在各种像差：一类是透镜磁场几何上的缺陷产生的几何像差，包括球面像差（球差）、像散和像畸变；另一类是电子波长或能量单一性引起的色差；还有一种是由衍射效应引起的衍射像差 （1）球面像差（球差） 球面像差是指在电磁透镜的磁场中 近轴区域磁场对电子束的折射能力与远轴区域磁场对电子束的折射能力不同而产生的 一个理想的物点所散射的电子经过具有球差的电磁透镜后 不能汇聚于同一个像点上 而被分别汇聚在一定的轴向距离上 在轴向距离范围内 存在着一个最小的焦斑 必须尽可能减小球差引起的最小散焦斑的尺寸 以利提高透镜的分辨本领 式中Cs表示电磁透镜球差系数 α表示电磁透镜孔径半角 从上式看 球差最小散焦斑半径与球差系数成正比 与孔径角α3成正比 增加极靴孔隙中的磁场强度 就会降低球面像差系数 在电子束的路径上放置一个适当大小的光栏 就能减小电子束发射角 因而就减小了球面像差 但光栏孔太小就会使衍射像差变得明显 需要适当选择光阑 （2）像散 像散是电磁透镜磁场非旋转对称引起的像差 主要原因: 极靴材料不均匀 机械加工的精度差 电子束路径污染 一般采用消像散器来消除像散 像散严重时 则需要清洗电镜 甚至更换极靴 像散焦斑半径可以表示为： 式中ΔfA为由透镜磁场非旋转对称产生的焦差 α为透镜的半孔径角 消像散器 （3）色差 色差是由于成像电子波长（或能量）变化引起电磁透镜焦距变化而产生的一种像差 一个物点散射的、具有不同波长（或能量）的电子进入透射磁场后 如果不能聚焦到一个像点上 而分别交在一定的轴向距离范围内 在轴向距离范围内存在着一个最小散焦距 即色差散焦斑 其半径rc由下式确定： 减少色差的办法： 改善加速电压的稳定性 增加极靴中的磁场强度 降低色差系数Cc 样品不要太厚 减少电子能量损失的差异 （4）衍射像差 衍射像差是一种波动光学像差 增大电磁透镜的半孔径角就可以减小这种像差 但是却会引起球差增大 只有兼顾两个方面选择最佳孔径角 2.3.2电磁透镜的分辨本领 分辨本领取决于透镜的像差和衍射效应所产生的散焦斑（或称埃利斑）尺寸的大小 光学显微镜在最佳情况下 分辨本领可以达到照明光波波长的二分之一 电子束波长比可见光波长小五个数量级 如果电磁透镜像差（特别是球差）能得到较好的矫正 那么它的分辨