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5.2 电容式传感器的测量电路 5.2.1 电容传感器的等效电路 RP （a） C R L C （b） 5.2.2 测量电路 1. 电桥电路 U Cr1 C （a） R R U0 （c） U Cr1 Cr2 U0 L L Cr1 （b） C U0 U C Cr2 另两个臂是紧耦合电感臂的电桥具有较高的灵敏度和稳定性，且寄生电容影响极小、大大简化了电桥的屏蔽和接地，适合于高频电源下工作。 Cr1 Cr2 U0 U （d） 变压器电桥使用元件最少，桥路内阻最小，因此目前较多采用。 Cr1 Cr2 USC 放大 振荡器 相敏 检波 滤波器 在要求精度很高的场合，可采用自动平衡电桥；传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性增大； 接有电容传感器的交流电桥输出阻抗很高，输出电压幅值又小，所以必须后接高输入阻抗放大器将信号放大后才能测量。 由于电桥输出电压与电源电压成比例，因此要求电源电压波动极小，需采用稳幅、稳频等措施， 2. 运算放大器电路 Cx C0 -A U USC Ii Ix I Cx为传感器，C0为固定电容。当运算放大器输入阻抗很高、增益很大时，可认为运算放大器输入电流为零，根据克希霍夫定律，有： 如果传感器是一只平行板电容，则： 代入式得： 可见运算放大器的输出电压与动极板的板间距离δ成正比。运算放大器电路解决了单个变极距型电容传感器的非线性问题。 上式是