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* * 一、激光加工系统的组成(3) 光泵是使工作物质发生粒子反转产生受激辐射的激励光源，因此光泵的发射光谱应与工作物质的吸收光谱相匹配。常用的光泵有脉冲氙灯和氪灯，脉冲氙灯的发光强度和频率较高，适用于脉冲工作的固体激光器，而氪灯的发光光谱能与YAG的吸收光谱很好匹配，是YAG连续激光器的理想光泵。为改善照射的均匀性，光泵可用双灯（如图1所示的件3有上、下两个）、三灯或四灯。 * * 一、激光加工系统的组成(4) 聚光器罩在光泵的外围，它是把光泵发生的光有效地、均匀地集中到工作物质上。聚光器中常用的是圆柱聚光器和椭圆聚光器，也有球形、椭球和紧包形的聚光器。其要求为聚光均匀、散热好、结构简单、内壁反射率高，表面粗糙度Rα0.04μm以下，通常聚光效率达80％。 谐振腔是光学反馈元件，它的作用是为光放大介质产生光振荡。其类型对激光输出能量和发散角有很大影响，常用的平行平面谐振腔由图1中反射镜1与4组成，谐振腔的长度为激光半波长的整倍数，反射镜平行度＜10。 * * 一、激光加工系统的组成(5) （2）气体激光器 ? 常用的工作物质有分子激光的二氧化碳（CO2）和离子激光的氩气（Ar），后者输出功率为25W，它的10ns级短脉冲，使热影响区小，用于半导体、陶瓷和有机物的高精度微细加工。而CO2激光器的功率在连续方式工作时可达45kW，脉冲式可达5kW，故在加工中应用最广。 ?CO2气体激光器的波长为10.6μm，处于红外线领域，因而其激光束为不可见光。它是在氦的体积分数约80％，氮的体积分数约15％和CO2的体积分数约5％的混合气体中进行放电形成粒子数反转的分子激光。它的能量效率通常为5％～10％，高效装置甚至可达10％～15％。 * * 一、激光加工系统的组成(6) CO2激光器的工作原理图如图2所示。? 气体激光的激励虽也可用光泵的方法，但大多用直流放电（图2）或高频放电的方式。? 谐振腔由放电管两端的镜面构成，一端是镀金凹镜，另一端是锗或砷化镓平镜，它们也兼作密封之用。 * * CO2激光器的输出功率与放电管的长度成正比，低速轴流式的气体流速慢，输出功率小，约50～70W/m，但其输出功率稳定，易得到单模，一般用于百瓦级激光器。对于千瓦级的CO2激光器则采用气体循环速度达100m/s的高速轴流式的激光器或气流及放电与激光光轴垂直的双轴直交型以及气流、放电与激光光轴三者互相垂直的三轴直交型，可达到使激光器小型化。 一、激光加工系统的组成(7) * * 2.聚焦系统??? 其作用是把激光束通过光学系统精确地聚焦至工件上，并具有调节焦点位置和观察显示的功能。CO2激光器输出的是红外线，故要用锗单晶、砷化镓等红外材料制造的光学透镜才能通过。为减少表面反射需镀金全反射镜。 一、激光加工系统的组成(8) * * 一、激光加工系统的组成(9) 图3为应用于CO2激光切割机的透射式聚焦系统。图中在光束出口处装有喷吹氧气、压缩空气或惰性气体N2的喷嘴，用以提高切割速度和切口的平整光洁。工作台用抽真空方法使薄板工件能紧贴在台面上。 * * 3．电气系统??? 电气系统包括激光器电源和控制系统两部分，其作用是供给激光器能量（固体激光器的光泵或CO2激光器的高压直流电源）和输出方式（如连续或脉冲、重复频率等）进行控制。此外，工件或激光束的移动大多采用CNC控制。??? 为了实现聚焦点位置的自动调整，尤其当激光切割的工件表面不平整时，需采用焦点自动跟踪的控制系统，它通常用电感式或电容式传感器来实时检测，通过反馈来控制聚焦点的位置，其控制精度的要求一般为±0.05～0.005mm。 一、激光加工系统的组成(10) * * 1．激光打孔尺寸及其精度的控制?? （1）孔径尺寸控制? 采用小的发散角的微光器（0.001～0.003rad），缩短焦距或降低输出能量可获得小的孔径。对于熔点高、导热性好的材料可实现孔径0.01～1mm的微小孔加工，最小孔径可达0.001mm。?? （2）孔的深度控制 ? 提高激光器输出能量，采用合理的脉冲宽度（材料的导热性越好宜取越短的脉冲宽），应用基模模式（光强呈高斯分布的单模）可获得大的孔深。对于孔径小的深孔宜用激光多次照射，并用短焦距（15～30mm）的物镜打孔。 二、激光加工的合理工作参数 (1) * * （3）提高激光加工孔的圆度 ? 激光器模式采用基模加工，聚焦透镜用消球差物镜，且透镜光轴与激光束光轴重合，工件适当偏离聚焦点以及选择适当的激光能量等可提高加工圆度。?（4）降低打孔的锥度 ? 通常孔的锥度随其孔