第十三 章电子探针显微分析.pptVIP

13.1 概论 电子探针的主要功能 进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 原理： 用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 13.2 电子探针仪的结构与工作原理 结构分为三大部分：镜筒、样品室、和信号检测系统。 ? 镜筒和样品室部分与SEM相同。 ? 信号检测系统是X射线谱仪，对微区进行化学成分分析： 波长分散谱仪或波谱仪（WDS），用来测定特定波长的谱仪； 能量分散谱仪或能谱仪（EDS），用来测定X射线特征能量的谱仪 要使同一台仪器兼具形貌分析和成分分析功能，往往将扫描电镜和电子探针组合在一起。 波长分散谱仪（波谱仪WDS） 1．工作原理 上述平面分光晶体使谱仪的检测效率非常低，表现在：(1)固定波长下，特定方向入射才可衍射；(2)处处衍射条件不同 2) 在样品上方放置分光晶体，当入射X波长λ、入射角θ、分光晶体面间距d之间满足: 2dsinθ=λ 时， 该波长将发生衍射，若在其衍射方向安装探测器，便可记录下来。由此，可将样品作用体积内不同波长的X射线分散并展示出来。 要解决的问题是：①分光晶体表面处处满足同样的衍射条件； ②实现衍射束聚焦 解决的办法是： 把分光晶体作适当的弹性弯曲，并使X射线源、弯曲晶体表面和检测器窗口位于同一个圆周上，就可以达到把衍射束聚焦的目的。该圆称为聚焦圆，半径为R。 此时，如果晶体的位置固定，整个分光晶体只收集一种波长的X射线，从而使这种单色X射线的衍射强度大大提高。 X射线聚焦方式有两种： 实际中使用的谱仪布置形式有两种 1）直进式波谱仪：　　　　　　 　2）回转式波谱仪 2. 测定原理 以直进式为例说明。 3. 分析方法 直进式波谱仪中在进行定点分析时，只要把距离L从小变大，就可在某些特定位置测到特征波长信号，经处理后可在荧光屏或X-Y记录仪上把谱线描绘出来。 由于结构上的限制，L不能太长。一般在10～30cm范围。在聚焦园R=20cm的情况下，则θ约在15°～65°之间变化。可见一个分光晶体能够覆盖的波长范围是有限的，也只能测定某一原子序数范围的元素。 要测定z=4-92范围的元素，则必须使用几块晶面间距不同的晶体，因此，一个谱仪中经常装有2块分光晶体可以互换，一台电子探针仪上往往装有2～6个谱仪，几个谱仪一起工作可以同时测定几个元素。 能量分散谱仪（能谱仪EDS） 1. 工作原理 利用不同元素X射线光子特征能量不同特点进行成分分析 锂漂移硅能谱仪Si(Li)框图 假定产生一个空穴对的最低平均能量为ε（固定的），则由一个光子造成的空穴对数目为： 工作过程加在Si(Li)晶体两端偏压来收集电子空穴对→ （前置放大器）转换成电流脉冲→ （主放大器）转换成电压脉冲→ （后进入）多通脉冲高度分析器，按高度把脉冲分类，并计数，从而描绘I－E图谱。 2. 能谱仪分析特点 优点（与波谱仪相比） 1) 能谱仪探测X射线的效率高。其灵敏度比波谱仪高约一个数量级。2) 在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。 3) 结构简单，稳定性和重现性都很好（因为无机械传动） 4) 不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。 缺点和不足： 1) 分辨率低：Si(Li)检测器分辨率约为160eV；波谱仪分辨率为5－10eV 2) 能谱仪中因Si(Li)检测器的铍窗口限制了超轻元素的测量，因此它只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。 3) 能谱仪的Si(Li)探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。 13.3 电子探针仪的分析方法及应用 1 定性分析 1）.定点分析： 2）. 线分析： 3. 面分析： 习 题 电子探针仪与扫描电镜有何异同？电子探针仪如何与扫描电镜和透射电镜配合进行组织结构与微区化学成分的同位分析? 2. 波谱仪和能谱仪各有什么优缺点? 3. 直进式波谱仪和回转式波谱仪各有什么优缺点? 4. 要分析钢中碳化物成分和基体中碳含量，应选用哪种电子探针仪?为什么? 5. 要在观察断口形貌的同时，分析断口上粒状夹杂物的化学成分．选用什么仪器?用怎样的操作方式进行具体分析? 6. 举例说明电子探针的三种工作方式(点、线、面)在显微成分分析中的应用。 * * 第十三章 电子探针 多媒体制作 X. C. He 南京工程学院材料教研室 1) 电子束入射样品表面产生的X射线是在样品表面