离子注入-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ， ， ， ?0 !! $$$ !! A:/?0Q:/!!Q:R58S5T$$$ ／ ／ （ ）／ !$$$N#0$$$$?0!! !$N$? M-2M9OP)K-M)KQK-M !$$$-=*I/9=;/):7/ U !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 不同剂量 离子注入 单晶中 合金 ! # # ! $%! ! 的形成及其特征 ） ） ） ） ） ! # 王引书 李晋闽 金运范 王玉田 林兰英 ） ! （北京师范大学物理系，北京 ） !$$%’ ） （中国科学院半导体研究所，北京 ） !$$$%# ） # （中国科学院近代物理研究所，兰州 ） #$$$$ （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$$ ( $$$ ( !# 室温下在单晶 中注入（ — ） 的 原子，利用高温退火固相外延了 合金，研究了不同注入剂 )* $+( !+’ , - )* - !.! ! 量下 合金的形成及其特征 如果注入 原子的浓度小于 ，在 — 退火过程中， 原子容易与 )* - / - $+(, %’$ 0’$1 - !.! ! 注入产生的损伤缺陷结合，难于形成 合金相 随注入 原子含量的增加， 原子几乎全部进入晶格位置形 )* - / - - !.! ! 成 合金，但如果注入 原子的浓度达到 ，只有部分 原子参与形成 合金 升高退火温度， )* - - !+’, - )* - / !.! ! !.! ! )* - 合金相