功率超声工具振幅测量方法比较.docx

声振幅 。功率超声工具振幅测量方法比较郑书友 ,徐西鹏(华侨大学 石材加工研究福建省高 声振幅 。 功率超声工具振幅测量方法比较 郑书友 , 徐西鹏 (华侨大学 石材加工研究福建省高校重点实验室 ,福建 泉州 362021 ) 摘 要 : 工具振幅是功率超声加工中的一个重要参数 ,对加工过程及加工效果都有着重要影响 。简述目前常用的 振幅测量方法与原理 ,分析其优缺点 。给出利用显微镜观察法测量超声加工工具振幅及在线检测频率变化的简易方法 。 关键词 : 振幅测量 ;光学法 ;功率超声 ;工具振幅 ;传感器 中图分类号 : TB556 文献标识码 : A 超声冲击加工是利用作超声频振动的工具头冲击 悬浮磨粒 ,对加工表面冲击 、挤压 、研磨来去除材料 ; 旋 转超声加工 ,是用固结在工具上的磨粒随工具做超声 频振动 ,对加工面进行高频磨抛加工去除材料的 。超 声振幅的大小及谐振频率的调整 ,不仅反映了声功率 输出的大小 ,而且反映了发生器 、换能器 、变幅杆和工 具各级联环节频率和电学匹配的效果好坏 , 对加工过 程中材料去除率 、表面粗糙度 、工具磨损等具有重要影 响 [ 1 ] ,因而振幅的稳定输出和准确 、简易测量是超声加 工装置研制和使用中的一个重要问题 。 振幅测试方法一般有物理观察法 、光学方法和电 测方法 ,其简单原理和优缺点见表 1[ 2 ] 。本文综述目前 振幅测量的几种常见方法 ,结合实验室条件给出应用 显微镜观察法测量功率超声工具振幅和在线检测频率 变化的简易方法 。 1 已有的主要测量方法及分析 111 物理观察法 1 ) 楔形观察法 [ 2 ] 制作一个直角三角形测量楔块如图 1 示 , 使得短 直角边长度 bc 大于等于被测振动位移的最大峰 - 峰 值 , 并且远小于长直角边 ab 的长度 , 如取 ab = ( 10 ～ 50 ) bc。测量时将测幅楔贴到被测物体上 , 让长直角边 ab与振动方向垂直 。如果物体振动频率 f 10 H z,那 么由于视觉的滞留作用 ,就可以看到测幅楔在介于振 动峰峰值范围内形成的扫描轮廓 。比较测幅楔运动的 交集区域与测幅楔直角边的长度关系 ,得到振幅 2A = l0 3 ( bc / ab) 。但是 , 由于测幅楔的物理尺寸及观察者 的目测水平 , 要求楔形观察法的振幅比较大 , 如用于粗 测振幅 100 μm 振动系统 ,因此很难用来测量功率超 表 1 振动测量方法分类 装传感器的试件作非接触测 、 、 测 ,但 易 受 电 磁 场 干 扰 。是 2 ) 力矩平衡法 将换能器看作一个平面活塞式的超声振动源 , 其 空载时对声传播路径上面积为 S 的物体的声压推力为 基金项目 : 福建省重点科技项目 ( 2005 I031 ) 收稿日期 : 2007 - 09 - 24 修改稿收到日期 : 2007 - 10 - 16 第一作者 郑书友 男 ,博士生 , 1979 年生 名 称 原 理 优缺点及应用 物理观察法 光学法 (非接触法 ) 电测法 (接触法 ) 利用高 频 振 动 特 性 , 及 视 觉 滞 留 效 应 进 行测量 , 或 者 用 杠 杆 原理测量振幅 。 利用光 杠 杆 原 理 、读 数显微 镜 、光 波 干 涉 原理 ,激 光 多 普 勒 效 应等进行测量 。 将 被 测 对 象 的 振 动 量转换 成 电 量 , 然 后 用 电 量 测 试 仪 器 进 行测量 。 方法简 单 , 测 试 时 会 给 工 件 加上一 定 的 负 荷 , 影 响 测 试 结 果 , 适 用 于 大 振 幅 粗 略 测量 。 不受电 磁 场 干 扰 , 测 量 精 度 高 ,适于 对 质 量 小 及 不 易 安 量 。在 精 密 测 量 和 传 感 器 测振仪标定中用得较多 。 灵敏度高 ,频率范围及动态 线性范 围 宽 , 便 于 分 析 和 遥 目前最广泛采用的方法 。 试验研究 179第 7期郑书友等 : 功率超声工具振幅测量方法比较 179 第 7期 郑书友等 : 功率超声工具振幅测量方法比较 F = PS = 2π2ρc2 ( fa ) 2S [ 3 ] , 如果能检测到 F 的大小即 可测知超声波机械振幅的大小 。文献 [ 3 ]中 , 作者将普 通电压表巧妙地改装制成超声波机械振幅传感器 。利 用超声力矩替代电压表中的游丝弹性力矩和电磁力矩 平衡 , 得到读数监测器的输出读数 V 与超声波机械振 幅 A 的平方成正比 。再用简单的后续处理电路实现超 声波机械振幅相对变化的监测问题 , 该方法结构简单 、 使用方 便 , 且 测 量 结 构 不 受 换 能 器 或 变 幅 杆 材 质