基于锥光全息原理的三维测量技术研究-仪器科学与技术专业论文.docx

Classified Index: TP391.4 U.D.C: 681.3 Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering 3D MEASUREMENT TECHNOLOGY BASED ON CONOSCOPIC HOLOGRAPHY Candidate： Ren Shuyan Supervisor： Prof. Pu Zhaobang Academic Degree Applied for： Doctor of Engineering Speciality： Instrument Science and Technology Affiliation: Automation Testing and control Date of Defense： June, 2008 Degree-Conferring-Institution: Harbin Institute of Technology 摘 要 摘 要 - - I - 摘 要 光学非接触式测量是当前三维测量领域的研究热点，对提高检测速度、 降低损耗、增强检测手段的环境适应性具有重要意义。在各种非接触式测量 方法中，锥光全息法以其测量范围大、精度高及环境适应能力强等特点更适 合在线检测的应用，但该方法目前还没有得到广泛的应用，根本原因在于对 该系统的研究还存在一定的局限性。本文在对国内外锥光全息系统的理论研 究和制约其在线应用的各种因素进行分析的基础上，提出提高系统抗干扰能 力和测量分辨力的新方法，并建立具有通用性和灵活性的模块化操作系统， 完成锥光全息测量系统的非线性校准，开发适应性强、能够在多种工业生产 中应用的在线检测系统，而且对提高非接触式测量的水平具有很大的实际意 义。 详细分析了总体方案和各组成子系统方案，设计出适用于距离测量和三 维形状测量的锥光全息系统，并搭建实验平台进行参数校正及样机调试。同 时，结合几何光学、晶体光学及偏振光学等理论，深入分析锥光全息系统的 不足，并提出解决办法。 研究基于相位的系统测量方法，相比于全息图的光强易受光源波动和噪 声干扰的问题，从全息图的相位中更易精确地提取被测信息，而且能充分反 应锥光束在晶体中的传播特性。在此分析的基础上，推导锥光全息系统基于 相位的测量表达式，相应降低光源波动影响。 研究图像噪声处理技术，针对图像的方向性特征，在分析现有方向滤波 方法的基础上，提出了改进的平均曲率扩散滤波方法，加快了算法的速度。 通过对晶体光学传输模型和条纹检测技术的研究，采用条纹整数频率与小数 相位同时提取的区域条纹扫描方法，并将条纹频率的像素级确定方法和相位 的亚像素定位方法相结合，省去了不必要的处理和计算，在满足测量精度的 基础上加快了测量速度。 为确保大量程的前提下系统仍具有较高的测量精度，研究了提高锥光全 息系统测量分辨力的方法，采用加大晶体转角和加入光学透镜的相位差放大 法，在提高系统检测精度的同时，也降低了系统的标定难度。 研究系统的传输特性和非线性校准技术，进行增量式测量和相对相位测 量的理论分析，使得锥光全息系统实现增量式相对相位测量，避免了系统在 哈尔滨工业大学工学博士学位论文 哈尔滨工业大学工学博士学位论文 - - II - 大量程内绝对零位的难于定位问题。并结合遗传算法优化特性参数，采用神 经网络技术实现对增量式测量的非线性校准，降低系统的非线性误差，同时 也避免了求取特性函数逆向模型的困难。 对于影响系统测量的各种因素进行分析，通过软件补偿光学元件引起的 系统误差，并对引起激光器波长漂移和单轴晶体折射率变化的温度因素采取 了结合 PID 技术的自适应调节方法，降低了测量系统对于环境温度的要 求，从而提高了锥光全息系统的环境适应能力。 关键词 双折射；锥光全息；增量式相对相位测量；神经网络；非线性校 准 Abstract Abstract - - PAGE VII- Abstract As a main subject in 3D measurement, Optical non-contact measurement can improve detection velocity, reduce loss and intensify adaptability to environment. Among all kinds of the optical non-contact measurement methods, Conoscopic Holography measurement is more suited to on-line detection because of its large measurement scope, high accur