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2019-04-18 发布于江西
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超净工作台验证.doc

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PAGE 21 超净工作台验证方案目录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc263079687 1引言 PAGEREF _Toc263079687 \h 3 HYPERLINK \l _Toc263079688 1.1概述 PAGEREF _Toc263079688 \h 3 HYPERLINK \l _Toc263079689 1.2设备结构及工作原理 PAGEREF _Toc263079689 \h 3 HYPERLINK \l _Toc263079690 1.3主要技术参数 PAGEREF _Toc263079690 \h 3 HYPERLINK \l _Toc263079691 2 安装确认（IQ） PAGEREF _Toc263079691 \h 4 HYPERLINK \l _Toc263079692 2.1目的 PAGEREF _Toc263079692 \h 4 HYPERLINK \l _Toc263079693 2.2验证方法 PAGEREF _Toc263079693 \h 4 HYPERLINK \l _Toc263079694 2.3 文件资料检查 PAGEREF _Toc263079694 \h 4 HYPERLINK \l _Toc263079695 2.4 设备主要参数及材质确认 PAGEREF _Toc263079695 \h 4 HYPERLINK \l _Toc263079696 2.5公用工程连接 PAGEREF _Toc263079696 \h 5 HYPERLINK \l _Toc263079697 2.6仪器仪表校正 PAGEREF _Toc263079697 \h 5 HYPERLINK \l _Toc263079698 2.7安装场地确认 PAGEREF _Toc263079698 \h 6 HYPERLINK \l _Toc263079699 2.8安装确认小结 PAGEREF _Toc263079699 \h 6 HYPERLINK \l _Toc263079700 3 运行确认（OQ） PAGEREF _Toc263079700 \h 6 HYPERLINK \l _Toc263079701 3.1检查项目方法、步骤及标准 PAGEREF _Toc263079701 \h 7 HYPERLINK \l _Toc263079702 3.2运行确认小结： PAGEREF _Toc263079702 \h 7 HYPERLINK \l _Toc263079703 4 性能确认（PQ） PAGEREF _Toc263079703 \h 8 HYPERLINK \l _Toc263079704 4.1目的 PAGEREF _Toc263079704 \h 8 HYPERLINK \l _Toc263079705 4.2悬浮粒子数测定 PAGEREF _Toc263079705 \h 8 HYPERLINK \l _Toc263079706 4.2.1测点分布 PAGEREF _Toc263079706 \h 8 HYPERLINK \l _Toc263079707 4.2.2测试方法 PAGEREF _Toc263079707 \h 9 HYPERLINK \l _Toc263079708 4.2.3计算 PAGEREF _Toc263079708 \h 9 HYPERLINK \l _Toc263079709 4.2.3合格标准 PAGEREF _Toc263079709 \h 10 HYPERLINK \l _Toc263079710 4.2.4洁净度检测小结 PAGEREF _Toc263079710 \h 10 HYPERLINK \l _Toc263079711 4.3自净时间测定 PAGEREF _Toc263079711 \h 11 HYPERLINK \l _Toc263079712 4.3.1原理 PAGEREF _Toc263079712 \h 11 HYPERLINK \l _Toc263079713 4.3.2仪器选用 PAGEREF _Toc263079713 \h 11 HYPERLINK \l _Toc263079714 4.3.2测试方法和过程要求 PAGEREF _Toc263079714 \h 11 HYPERLINK \l _Toc263079715 4.2.4自净时间检测小结 PAGEREF _Toc263079715 \h 12 HYPERLINK \l _Toc263079