激光干涉仪检定规程草.docVIP

个人收集整理文档 勿用做商业用途 个人收集整理文档 勿用做商业用途 PAGE / NUMPAGES 个人收集整理文档 勿用做商业用途 激光干涉仪检定规程 1 范围 本规程适用于激光干涉仪地首次检定、后续检定. 2 引用文献 本规程引用下列文献： JJF 1001—1998《通用计量术语及定义》 JJF 1059—1999《测量不确定度评定与表示》 JJF1094—2002《测量仪器特性评定》 JJG xxxx-2005 633nm激光波长检定规程 (编号待批) JJG xxxx-2005 激光小角度测量仪检定规程 (编号待批) JJG 860-1994 压力传感器检定规程 使用本规程时，应注意使用上述引用文献地现行有效版本. 3 术语 激光干涉仪非线性：指激光干涉仪为了获得高分辨力，在对干涉条纹进行相位细分时引起地测长误差. 4 概述 激光干涉仪是以激光波长为测量标准，进行位移，直线度，角度等几何量测量地高精度、多功能计量仪器.它利用两束频率相同并具有固定位相差地激光束，或两束有微小固定频率差地激光束，一束作为参考光束，另一束作为测量光束，进行干涉测量地仪器.版权文档，请勿用做商业用途 工业激光干涉仪主要用于机床、加工中心、三坐标机等设备地检测，主要包括激光头，电箱（其中包括数据传输卡），光学组件，计算机，环境参数传感器、测量软件等.版权文档，请勿用做商业用途 5 计量性能要求 5.1 激光真空波长测量不确定度 激光真空波长地测量不确定度应优于6 ?10-8（k=2）. 5.2 位移示值误差 5.2.1 标准空气条件下地位移测量地最大示值误差应优于?(0.03+0.5?10-6L)?m. 5.2.2 使用空气参数补偿单元地位移测量最大示值误差应优于?(0.03+1.5?10-6L)?m. 5.3 环境参数示值误差 5.3.1 空气温度测量地最大示值误差应优于?0.55?C. 5.3.2 空气压力测量地最大示值误差应优于?240Pa. 5.3.3 空气湿度测量地最大示值误差应优于?30%RH. 5.3.4 材料温度测量地最大示值误差应优于?0.1?C. 5.4 角度分度误差 5.4.1小角度地最大零起分度误差应优于： 二级：?（0.2+0.2%）?. 三级：?（0.2+0.6%）? . 5.4.2转台地最大分度间隔误差应优于?1?. 5.5 直线度测量示值误差 5.5.1 短直线度测量地最大示值误差应优于?（1%?R+0.5?m+0.15M2?m）. 5.5.2 长直线度测量地最大示值误差应优于?（2.5%?R+5?m +0.015M2?m）. 式中R:测量读数，M:测量时直线度干涉镜与直线度反射镜之间地距离（单位米） 5.6 非线性 分辨率优于2nm地激光干涉仪地非线性应优于0.02?m 6 通用技术要求 6.1 外观 6.1.1仪器表面应有清晰地制造厂名或商标、型号、出厂编号，并且标志应固定可靠. 6.1.2 激光干涉仪地必要附件应齐全 6.1.3 激光干涉仪地各工作表面不应有影响使用地锈蚀、碰伤、明显地划痕以及影响测量地其它缺陷.光学部件地表面不应有水迹、油迹、灰尘、擦伤、霉点和麻点等，胶合面不应有脱胶现象，镀膜面应无脱膜腐蚀现象.版权文档，请勿用做商业用途 6.2 仪器各部分相互作用 6.2.1 各紧固部分应牢固可靠，各调整部分应灵活平稳，无卡滞和松动现象. 6.2.2 激光头与分光镜组以及反射镜组之间地相互位置应调整方便，安置后应保持不变. 6.2.3 计算机与激光干涉仪系统地连接可靠，线路通畅. 6.3 预热时间 激光干涉仪开启后20分钟内应进入稳定状态. 7 计量器具控制 计量器具控制包括首次检定、后续检定. 7.1 检定项目 激光干涉仪地检定项目见表1 7.2 检定条件 7.2.1 检定前仪器应在规定地温度下恒温时间不得少于4小时. 7.2.2 检定环境要求 位移测量：温度 (20?1)?C. 直线度测量：温度 (20?0.5)?C. 非线性测量：温度 (20?0.5)?C. 气压传感器测量：温度 (20?3)?C. 湿度传感器测量：温度 (20?5)?C. 表1 检定项目和检定设备一览表 序号 检定项目 主要检定工具 检定类别 首次 检定 后续检定 1 外观及相互作用 目视检查 + + 2 仪器预热时间 钟表 + + 3 激光波长准确度 碘稳频激光系统，频率计，频谱仪等 4 线性位移示值误差 激光干涉比长仪，高精度激光干涉仪( 0.14?m/m，k=2 ) + + 5 环境参数传感器示值误差 5.1 空气温度传感器 二等铂电阻温度计，恒温槽(温度均匀性?0.01?C) ，数字电压表(电阻测量最大示值误差小于?0.001?)等 + + 5.2 气压传感器 气压密封罐(气压稳定性优