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32 8 Vol. 32 No. 8
2003 8 ACTA PHOTONICA SINICA August 2003
*
杨玉 熊开利 孙 艳 谭玉山
( , 7100 9)
运用薄膜光学干涉原理光纤技术和干涉光谱分析技术, 用光纤反射式干涉光谱仪
(Reflectromic Interference Spectroscopy) 直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2 膜层前后界面反
射形成的干涉光谱曲线, 并用专业软件对被测光谱信号数据处理后, 可直接用公式准确计算出
SiO2 氧化膜的厚度和光学折射率通过对单晶硅片表面超薄SiO2 氧化膜的实测, 并与成熟的椭圆
偏振仪测试结果相比, 测试误差 2nm但该方法测试简单快速, 精度高, 不需要制定仪器曲线和
数表, 可对薄膜任意位置的厚度在线测试经过对不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度测试表明, 该方法
适合0. 5~ 20m 薄膜厚度的精确在线测量, 测量误差小于7nm
反射式干涉光谱仪; 薄膜; 干涉; 无损检测
TH7 1 A
, , , ,
0
,
, 0. 5~ 20 m
, 7 nm
X
[ 1~ 5] 1
,
, , ,
, 00 m, ,
, 1
, , Y, I
[ 1]
;X ,
, , ( ) , I ,
1
, ; , (
SiO ) I , I I
2 2 1 2
, , [ 5]
Fresnel ,
, [ 6~ 11]
,
[2, 3]
90
Gaunglitz ,
图1 测试系统工作原理
, Fig. 1 Principle of testing system
SiO IR = I 1+ I 2+ 2 I 1I 2cos ( nd/ ) ( 1)
2
, ( 1) : I R I 1 I 2
, SiO2 ; I 1 ; I 2
, ; n
; d ; .
* 教育部教育振兴行动计划和西安交通大学自然科学基 ( 1) , nd ,
金(2001001) 资助项目
1/
Tel:029 2663930 Email; yuxiao@mail.xjtu. edu. cn
收稿日期: 2002 09 16
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