龙翩镀膜机操作说明.docVIP

一、主系統操作螢幕 1.1 監控系統選單地圖 M Main menu Open Data File Deposition Glass Change Utility Data Edit Refer Scan Dep Process Set Layer Dark Scan Quit Analysis Egun Data Spectrum config Hardware test Material test View record sSet Layer eDep Process igRefer Scan d Return ViewSpectrum Egun Data RAnalysis eQuit Refer Scan Dep Proces Set Layer Dark Scan Quit QSet Layer uDep Proces iRefer Scan t Refer Scan Dep Process Set Layer Dark Scan Quit (圖1.1.1) 1.2 蒸鍍中流程圖 (1) (1)Main menu (主選單) (2)Open data (開啟製程檔) (3)Deposition (蒸鍍製程) (11)Refer scan (選取參考波長) (10)Dark Scan (暗電流校正) (7)Data edit (修改檔案) (4)Dep process (蒸鍍模式) 鍵入 Esc 離開蒸鍍畫面或蒸鍍異常使用 → (9)Set layer (設定起始層) (8)Analysis (分析) 修改檔案後需做分析 (6)蒸鍍結束 (5)蒸鍍中畫面 (圖1.2.1) (圖1.2.1)為蒸鍍時標準作業程序，其編號及功能如圖所示。 程序(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6) 為一個基本作業程序。 假設我們是建立一個新的製程檔或修改舊的製程檔，作業程序為(1)、(7)、(8)、(3)、(4)、(5)、(6) 。 程序(10)需將光源power關閉後才可做暗電流校正(不需常做)，程序(11) 選取參考波長，需對新的監控片做Refer scan ，作業程序為(1)、(2)、(3)、(10)、(11)、(4)、(5)、(6) 。 假設我們在蒸鍍中發生異常(電腦當機)需使用 Set layer模式重新進入當層，作業程序為(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(9)、(4)、(5)、(6) 。 (注意:當進入此模式時，千萬不要對監控片做Refer scan之動作，且需手動由手動控制當層蒸鍍，完成時按下 Esc ,移動左右鍵至 Finsish Ok! ,完成當層蒸鍍。) 如果當層鍍的太少?可按下 Esc ,移動左右鍵至 cont 補鍍,但是得用手動至Finsish Ok! ,完成當層蒸鍍。其作業程序為(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)。 1.3 主系統操作選單 進入電腦系統之自動控制軟體程式子目錄 C:\ CD\GH\BIN 或 C:\BIN ENTER 執行 MAIN.EXE 進入主選單 C:\ MAIN ENTER 開始進入鍍膜製程出現主系統操作選單如下： 開始進入鍍膜製程 設定蒸著產品Open Data File 設定蒸著產品 Open Data File Deposition Glass Change Utility Quit 自動修改檔案中監控片設定 自動修改檔案中監控片設定 公用程式 公用程式 蒸著產品資料之顯示，其內容詳見2.1 蒸著產品資料之顯示，其內容詳見2.1、產品資料檔說明 (註：下圖所顯示之資料檔會紀錄前一個製程檔所產生的data值) Title:The Product and Data Title:The Product and Data 5 Ref Wave 550 Mat Thick Method Error mglass crucible Gas E_Gun_No. Vaccum 1 3 1.0 11 0.00 1 3 1 2 12 2 5 2.0 1 0.00 2 1 0 1 0.0 1.4 開啟製程檔 Open Data File Open File Routine Open File Routine Template File: Monit.DAT Copy to File - MONIT.DAT MONIT.DAT PC_GREEN.DAT PC_BLACK.DAT 移動上下游標即可選擇產品製程 若要產生新的資料檔，可從 Template File 先選擇樣板檔，再移動游標至 Copy to File