第三章 激光测试技术.ppt

第四章 激光测试技术 4/22/2019 参考文献：《激光测量技术》 内容提要 1、激光原理及技术 激光原理概述；激光的基本物理性质；高斯光束；稳频技术；激光调制技术 2、激光准直及多自由度测量 激光准直测量盘原理；激光准直仪的组成；大气扰动及激光束漂移；激光准直测量的应用；激光多自由度测量技术 3、激光视觉三维测量技术 激光三角法测量原理；激光视觉测量的基本原理；激光视觉三维测量技术的应用 4、其它激光测量技术 激光多普勒测速技术；激光扫描测径技术；激光测距技术 3、激光视觉三维测量系统 人类的大部分信息是通过视觉系统来获取的。研究了利用计算机等现代化工具来实现视觉功能，以增加对三维世界的理解，由此形成了一门崭新的学科―计算机视觉（Computer vision)，又称机器视觉（Machine Vision）。 近年来，计算机技术及电子技术的不断进步及CCD等光电器件的完善和发展，推动了计算机视觉技术的快速发展。 3、激光视觉三维测量系统 目前，计算机视觉技术已被广泛地应用于航空航天、生物医疗、物体识别、工业自动检测等领域。 计算机视觉理论基础上发展起来的视觉检测（Vision Inspection）技术具有非接触、速度快、精度适中、可实现在线等优点，已广泛地应用于工业产品的在线检测。 3、激光视觉三维测量系统 视觉检测技术根据照明方式和几何结构关系的不同分为被动视觉（Passive VIsion）检测和主动视觉（Active Vision）检测两大类。被动视觉采用非结构光照明，它是根据被测空间点在不同像面上的相关匹配关系，来获得空间点的三维坐标。主动视觉是采用结构光照明，通过结构光在被测物体上的精确定位来获取被测信息。 激光具有方向性好、高亮度等优点，利用激光做光源来获取结构光的主动视觉检测，称之为激光视觉检测技术。本章主要讲述激光视觉检测的原理及应用。 激光三角法 3、激光视觉三维测量系统 激光三角法是激光视觉检测技术的基础。 激光三角法早期使用He-Ne激光器作光源，体积庞大。近年来，随着半导体激光器、光电位置探测器PSD和CCD的出现及性能的不断完善，三角法在位移和物体表面的测量中得以广泛应用。 下面以单点式激光三角法为例讲述激光三角法测量原理。 激光三角法 3、激光视觉三维测量系统 单点式激光三角法测量常采用直射式和斜射式两种结构。 测量原理 直射式三角法 若光点在成像面上的位移为x，按下式可求出被测面的位移: 式中，a为激光束光轴和接收透镜光轴的交点到接收透镜前主面的距离；b为接收透镜后主面到成像面中心点的距离；θ为激光束光轴与接收透镜光轴之间的夹角。 激光三角法 3、激光视觉三维测量系统 单点式激光三角法测量常采用直射式和斜射式两种结构。 测量原理 斜射式三角法 若光点的像在探测器敏感面上移动x，则物体表面沿法线方向的移动距离 式中，θ1为激光束光轴和被测面法线的夹角；θ2为成像透镜光轴和被测面法线的夹角。 激光三角法 3、激光视觉三维测量系统 单点式激光三角法测量常采用直射式和斜射式两种结构。 测量原理 直射式和斜射式有如下特点： 1）斜射式可接收来自被测物体的正反射光，当被测物表面为镜面时，不会由于散射光过弱而导致光电探测器输出信号太小，使测量无法进行：直射式由于其接收散射光的特点，适合于测量散射性能好的表面。 2）在被测物体表面发生位移x时，斜射式入射光光点照射在物体不同的点上。因此，无法知道被测物体某点的位移情况，而直射式却可以。 3）斜射式传感器分辨力高于直射式，但它测量范围小、体积大。 激光三角法 3、激光视觉三维测量系统 激光三角位移传感器 根据三角法测量原理制成的仪器被称为激光三角位移传感器。一般采用半导体激光器（LD）作光源，功率在5mw左右，光电位置探测器可采用PSD或CCD。PSD属于非分割型位置探测器，分辨力高，动态响应快，后续处理电路简单，但线性差，需要精确标定。 斜射式三角位移传感器有日本Keyence公司的LD系列，而直射式有Renishaw公司生产的OP2、Keyence生产的LC系列和LB系列等多种型号。其中美国MEDAR公司生产的2101型及Renishow公司生产的0P2型是专门配置在三坐标测量机上用于测量物休三维形貌。 激光三角法 3、激光视觉三维测量系统 激光三角位移传感器 厂家 型号 工作距离（mm） 测量范围（mm） 分辨力 （微米） 线性 （微米） MEDAR 2101 25 ±2.5 2 1.5 KEYENCE LC-220 30 ±3 0.2 3 KEYENCE LB72 40 ±10 2 ±1% REISHAW OP2 20 ±2 1 10 PANASONIC 3ALA75 75 ±25 50 ±1% 激光三角法 3、激光视觉三维测量系统 应用激光三角位移传