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半導製程原理與概論 Lecture 4
黃光微影製程技術
(Photolithography)
饒達仁助理教授
國立清華大學 微機電系統工程研究所
Outlines
Concepts of Photolithography Process
Photolithography Process Flow
Optical Limitation
Alignment
Other Photolithography Techniques
國立清華大學 微機電系統工程研究所 饒達仁 助理教授
1
Concepts of
Photolithography Process
國立清華大學 微機電系統工程研究所 饒達仁 助理教授
2
NMOS Transistor Process
國立清華大學 微機電系統工程研究所 饒達仁 助理教授
C-MOS Process
國立清華大學 微機電系統工程研究所 饒達仁 助理教授
3
Process Flow Overview
SIN, POLY, ILD, METAL
THIN SIN
P-WELL
FILM
P-FIELD
P-WELL
PLDD POLY
N+ PLDD
P+
N+
POLY
P+ CONT CONT
METAL METAL1
MVIA1
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