激光微加工系统中电控系统的设计-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

誓，635261激光微加工系统中电控系统的设计 誓，635261 激光微加工系统中电控系统的设计 目录 摘 要 在自行研制的激光微加工系统中，采用光源固定，待加工工件运动的方式进行微 细加工，工件运动方式多样，能够加工多种图形。微加工系统中的激光光斑直径是 101a m，运动控制精度要求是5 m。文中分析了电控系统的模型，介绍了电路组成， 对电路进行了仿真，实现了电路设计。 在激光微加工系统中，电控系统是激光微加工机的关键部分之一。电控系统由设 定器(上位机)、数字控制器、输入通道(位置检测)和后向通道(执行机构)构成。 数字控制器通过串行通讯接口与PC机双向通讯，运动系统的目标给定值(加工轨迹) 眺及控制模式由PC机设定。 数字控制器是电控系统的核心部件，它由以下几部分组成：AT89C52为核心的 最小系统、串行通讯接口、步进电机控制与驱动电路、光栅尺信号处理模块以及键盘 与数码显示接口电路。数字控制器与输入通道和后向通道构成闭环的控制系统。因为 执行机构选用带有积分环节的步进电机，理论上该运动系统为无静差系统。在实际控 制中，采用了带死区的PID控制，死区eo的最小极限为：执行机构与反馈部件分辨 率的最大值。 根据设计的控制运动的精度要求，执行机构选择北京卓立汉光公司的TSAl00一A 二维电控移动平台，平台上安装两相步进电机，其控制和驱动电路采用步进电机控制 专用芯片TA84