激光微区发射光谱及其分析精度研究-光学专业论文.docxVIP

I I 摘要 摘 要 激光微区发射光谱分析LMESA是研究物体表面微小区域成分结构的有效 测量手段 本文采用单脉冲 YAG 激光器 YJG-激光微区分析仪 自动扫描多功 能组合光栅光谱仪 CCD 数据采集处理系统构成激光微区光谱分析系统 在减压氩 气环境下 研究了辅助激发参数对激光微区发射光谱谱线强度的影响 获得了在 氩气气压 33.2kpa 流量 100ml/min 辅助激发高度 4mm 下 对 LC-4 系列铝合金 光谱分析样品多元素同时分析的优化条件 采用基体分别为 Al Mg Si 自制光谱 标样为分析样品 以 CuI 324.7nm CuI 327.4nm ZnI 328.2nm ZnI 330.3nm ZnI 334.5nm 为分析线 研究了激光微区发射光谱中的基体效应 实验结果表明 同一基体中第三元素含量的变化对分析谱线相对强度基本无影响 不同基体对分 析线谱线强度存在一定的影响且谱线强度最大值与辅助激发高度有关 相同高度 下不同基体其微等离子体的电子温度相差 2 3 倍 在优化实验条件下 以铜合金 H68-1 和铝合金 LC-4 为分析对象 Cu I 324.7nm 为分析线系统研究了激光波动性 样品不均匀性 激光蚀坑的变化对 LMESA 分析精度影响 提出了利用数理统计中 区间估计排除系统误差来提高激光微区发射光谱分析精度的方法 结果显示 对 C