激光多普勒技术在大范围横向位移测量方面的研究-光学工程专业论文.docxVIP

中文摘要 ? 示尺寸直径的高精度测量，是大型机械制造企业在重大装备制造过程中普 遍提出的共性技术难题。随着科学技术和工业生产的迅速发展，许多产业部门 在大型生产设备的制造和安装中，对大尺寸直径零件在加工过程中的尺寸在位 检测和在线装配过程中的相互的位置测量提出了较高的精度要秽本文在对前 人的研究成果进行全面剖析的基础上，提出激光多普勒技术用于大尺寸直径的 测量方法。 本文从激光多普勒原理出发，介绍了激光多普勒技术的发展和应用，并且 从理论上论证了激光多普勒技术进行横向位移测量的可行性。在参考光型激光 多普勒测量方法、差动型激光多普勒测量方法和自混颁激光多普勒测量方法 中，差动型激光多普勒测量方法最适合用来进行长度的测量。 曾采用差动型光学系统并使用声光调制器对测量光束进行调制，可以提高信 曾 ? 号的信噪比，同时可以判别被测物体是运动方向。高频信号和低频信号分开处 面 理，可以消除信号的相互干扰 A 本文先后对双声光调制器系统和单声光调制器 系统进行了研究，实验证明欢食光调制器系统会产生较大的高频信号祸合，不 利于信号的处理。单声光调制器系统可以有效的提高系统的信噪比，得到较高 的测量精度。 本文研究了各种不同表面的被测物体对激光多普勒测量的影响@每激光多 普勒测量过程中起决定性作用的因素是散射光线的强度和各个微粒之间的随机相 位。被测表面的微粒分布越均匀，测量精度越高:表面散