磁过滤电弧离子镀制备TiAlN涂层的结构与性能表征-中国腐蚀与防护.PDF

第37 卷 第3 期 中国腐蚀与防护学报 Vol. 37 No. 3 2017 年6 月 Journal of Chinese Society for Corrosion and Protection Jun. 2017 磁过滤电弧离子镀制备TiAlN 涂层的结构与 性能表征 陈 磊 裴志亮 肖金泉 宫 骏 孙 超 中国科学院金属研究所 沈阳 110016 摘要 采用磁过滤电弧离子镀技术在高速钢基体上沉积TiAlN 涂层。研究了N 分压对TiAlN 涂层的相结构、 2 化学成分、力学性能、沉积速率、表面粗糙度、结合强度以及摩擦磨损性能的影响。结果表明，N 分压的变化对 2 涂层的结构与性能影响显著。随着N 分压的增加，TiAlN 涂层呈现(111) 择优取向，其硬度最高可达34 GPa 。 2 涂层的沉积速率和表面粗糙度随着N 分压的增大而逐渐降低。此外，由于大颗粒的去除使得涂层表面质量得 2 到提升，所制备的TiAlN 涂层均具有较低的摩擦系数(0.15~0.33) ，并且呈现良好的抗磨损性能，其最低磨损率 -7 3 · 为8.8×10 mm /(N m) 。 关键词 TiAlN 涂层 磁过滤电弧离子镀 结合强度 力学性能 摩擦磨损性能 中图分类号 TG 174.444 文章编号 1005-4537(2017)03-0241-06 Characterization of Structure and Property of TiAlN Coatings Deposited by Filtered Arc Ion Plating CHEN Lei, PEI Zhiliang, XIAO Jinquan, GONG Jun, SUN Chao Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China Correspondent: PEI Zhiliang, E-mail: zlpei@imr.ac.cn Supported by Natural Science Foundation of Liaoning Province of China (2013020093) Manuscript received 2016-04-11, in revised form 2016-05-06 ABSTRACT TiAlN coatings were deposited on high- speed steel substrate by filtered arc ion plating technic. Effect of nitrogen