二极管silvaco半导体仿真报告.docx

二极管silvaco半导体仿真报告 　　第二篇半导体工艺及器件仿真软件Silvaco操作指南　　主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件Silvaco的基本使用。书中通过例　　程引导学习工艺仿真模块Athena和器件仿真模块Atlas，通过这两部分的学习　　可以使学习人员深入了解半导体物理的基本知识，半导体工艺的流程，以及晶　　体管原理的基本原理，设计过程，器件的特性。对于学习集成电路的制备及后　　道工序有一定的帮助。　　第一章SILVACO软件介绍.............................3　　程序启动................................................3　　选择一个应用程序例子...................................4　　工艺模拟...............................................6　　运行一次模拟.......................................6　　渐进学习模拟.......................................6　　绘制结构...........................................6　　使用Tonyplot进行绘图..............................7　　修正绘图的外观.....................................7　　缩放及在图上进行平移...............................8　　打印图形...........................................9　　使用HISTORY功能........................................9　　明确存贮状态..........................................10　　创建用于比较的两个结构文件............................10　　存贮文件创建......................................10　　文件交叠.........................................11　　运行MOS工艺程序的第二部分............................13　　`StopAt功能....................................13　　使用Tonyplot用于2-D结构.........................14　　使用Tonyplot来制备一轮廓图.......................14　　产生交互式图例....................................16　　工艺参数的抽取........................................17　　源漏结深..........................................18　　器件阈值电压......................................18　　电导及偏压曲线....................................18　　一些薄层电阻......................................20　　沟道表面掺杂浓度..................................20　　器件模拟..............................................21　　器件模拟界面工艺..................................21　　建立器件模拟.....................................21　　执行器件模拟......................................22　　抽取器件参数......................................22　　第二章电阻仿真及阻值抽取..........................23　　第三章扩散二极管仿真..............................33　　硼扩散................................................33　　进行MESH的实验........................................38　　绘制