纳米薄膜材料的应用及研究进展.doc

纳米薄膜材料在电子领域的应用及研究进展 罗观晃 陈飞 (北京石油化工学院材料系 北京 1026174；北京石油化工学院机械系 北京 1026174) 摘要 纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文介绍了纳米薄膜材料的分类以及纳米薄膜的光学、力学、电磁学与气敏特性。概述了最近几年纳米薄膜材料在电子领域的应用及研究进展。 关 键 词： 纳米薄膜材料； 特性； 电子领域； 应用； 进展 中图分类号： 文献标识码: A 前言 纳米薄膜是指尺寸在nm量级的颗粒(晶粒-构成的薄膜或者层厚在nm量级的单层或多层薄膜,通常也称作纳米颗粒薄膜和纳米多层薄膜[1]由于纳米薄膜具有独特的光学、力学、电磁学与气敏特性，因而在重工业、轻工业、军事、石化等领域表现出了广泛的应用前景。为了获得各种具有某种特性或功能的纳米薄膜， 人们已发掘了包括溶胶-凝胶法、L-B膜法、电化学沉积法、化学气相沉积、低能团簇束沉积、真空蒸发法、溅射沉积、分子与原子束外延、分子自组装等在内的诸多方法。 1、纳米薄膜的分类 关于纳米薄膜的分类， 目前有多种分法[2,3]。 （1）据用途划分 纳米薄膜可按用途分为纳米功能薄膜和纳米结构薄膜。 纳米功能薄膜是利用纳米粒子所具有的力、电、 光、磁等方面的特性，通过复合制作出同基体功能截然不同的薄膜。纳米结构薄膜则是通过纳米粒子复合， 对材料进行改性，是以提高材料在机械性能为主要目的的薄膜。 （2）据层数划分 按纳米薄膜的沉积层数，可分为纳米（单层）薄膜和纳米多层薄膜、其中，纳米多层薄膜包括我们平常所说的，超晶格，薄膜，它一般是由几种材料交替沉积而形成的结构交替变化的薄膜，各层厚度均为nm级。 组成纳米(单层)薄膜和纳米多层薄膜的材料可以是金属、半导体、绝缘体、有机高分子，也可以是它们的多种组合 如金属，半导体、金属，绝缘体、半导体、绝缘体、半导体，高分子材料等，而每一种组合都可衍生出众多类型的复合薄膜。 （3）据微结构划分 按纳米薄膜的微结构， 可分为含有纳米颗粒的基质薄膜和nm尺寸厚度的薄膜。纳米颗粒基质薄膜厚度可超出nm量级， 但由于膜内有纳米颗粒或原子团的掺入，该薄膜仍然会呈现出一些奇特的调制掺杂效应；nm尺寸厚度的薄膜，其厚度在nm量级，接近电子特征散射的平均自由程, 因而具有显著的量子统计特性， 可组装成新型功能器件，如具有超高密度与信息处理能力的纳米信息存贮薄膜、 具有典型的周期性调制结构的纳米磁性多层膜等。 （4）据组分划分 按纳米薄膜的组分， 可分为有机纳米薄膜和无机纳米薄膜。 有机纳米薄膜主要指的是高分子薄膜， 而无机纳米薄膜主要指的是金属、半导体、金属氧化物等纳米薄膜。 （5）据薄膜的构成与致密度划分 按薄膜的构成与致密程度，可分为颗粒膜和致密膜。颗粒膜是纳米颗粒粘在一起形成的膜,颗粒间可以有极小的缝隙，而致密膜则是连续膜。 （6）据应用划分 按纳米薄膜在实际中的应用，可分为纳米光学薄膜、纳米耐磨损与纳米润滑膜、纳米磁性薄膜、纳米气敏薄膜、纳米滤膜等。 2、纳米薄膜的特性 2、1光学性能 （1）吸收光谱的”蓝移”、宽化与”红移”由于具有小尺寸效应、量子尺寸效应以及界面效应， 因而， 当膜厚度减小时， 大多数纳米薄膜能隙将有所增大，会出现吸收光谱的蓝移与宽化现象。 如纳米TiO2/SnO2纳米颗粒膜具有特殊的紫外，可见光吸收光谱，其吸收光谱较块体发生了显著的”蓝移” 与宽化，抗紫外线性能和光学透过性良好。尽管如此，在另外一些纳米薄膜[4]中，由于随着晶粒尺寸的减小,内应力的增加以及缺陷数量增多等因素，材料的电子波函数出现了重叠或在能级间出现了附加能级，又使得这些纳米薄膜的吸收光谱发生了”红移”。 （2）光学非线性 弱光强的光波透过宏观介质时， 介质中的电极化强度常与光波的电场强度具有近似的线性关系。但是， 当纳米薄膜的厚度与激子玻尔半径相比拟或小于激子玻尔半径a0时，在光的照射下，薄膜的吸收谱上会出现激子吸收峰。这种激子效应将连同纳米薄膜的小尺寸效应、宏观量子尺寸效应、量子限域效应一道使得强光场中介质的极化强度与外加电磁场的关系出现附加的2次、3次乃至高次项。简单地讲，就是纳米薄膜的吸收系数和光强之间出现了非线性关系，这种非线性关系可通过薄膜的厚度、膜中晶粒的尺寸大小来进行控制和调整。 2、2力学性能 （1）硬度 位错塞积理论认为，材料的硬度σ与微结构的特征尺寸A之间具有近似的Hall-Petch关系式[5] σ=σ0+(A/A0)n 式中，σ0为宏观材料的硬度；A0为常数。对于纳米薄膜来说，特征尺寸A为膜的厚度。 由该关系式可以得出，特征尺寸，很小的纳米薄膜将具有很高的硬度。此外，纳米多层膜的硬度