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气溶胶辅助CVD法制备F掺杂SnO2薄膜及其性能.pdfVIP

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    第卷第期硅酸盐学报年月气溶胶辅助法制备掺杂薄膜及其性能王轩梁波邸庆银赵洪力杨静凯燕山大学材料科学与工程学院河北秦皇岛亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室河北秦皇岛摘要采用气溶胶辅助化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积掺杂薄膜研究了前驱液中不同摩尔比制备的薄膜的结构表面形貌光学电学及光致发光性能结果表明所制备薄膜均为面择优取向的多晶四方金红石相结构前驱液中摩尔比的增加会导致面的衍射峰强度增加薄膜表面堆积颗粒形状发生变化薄膜样品光学透过率提升当摩尔比时薄膜具有最大的载流子浓度以及最小的电阻率这可归结为适量

    第47 卷第2 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 47 ，No. 2 2 0 1 9 年 2 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY February ，2019 DOI ：10.14062

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