第4章薄膜的形核与生长.pptxVIP

薄膜材料与技术Thin Film Materials Technologies; 薄膜的沉积形成过程可分为两个不同阶段： ? 与整体材料相变过程类似！ 一、实验现象：（以 Ag 在 NaCl (111) 晶面上的蒸发沉积为例，所有照片均为电镜原位观察获得） 二、基本规律： ? 薄膜形成的最初阶段，一些气态原子/分子开始凝聚到基片表面，开始形核； ? 在气态 Ag 原子到达基片表面的最初阶段，先是在基片上附着并凝聚，形成一些均匀细小、而且可以运动的 原子团，这些原子团被形象地称为“岛”；; 二、基本规律： ? 这些液珠一样的小岛不断接受新的沉积原子，并与其它小岛合并而逐渐长大，岛的数目很快达到饱和； ? 在小岛合并不断进行的同时，空出来的基片表面又会形成新的小岛； ? 小岛的形成与合并不断进行，尺寸较大的岛不断吞并附近尺寸较小的岛； ? 孤立小岛随着“吞噬”的进行相互连接成片，最后只留下一些孤立的孔洞和沟道，这些孔洞和沟道又不断被 填充，形成形貌连续、覆盖完整的初期薄膜。 注意：小岛的合并过程一般要进行到薄膜厚度达到数十纳米时才会结束，随后开始最终的薄膜生长过程。;一、生长模式的划分：如右图所示，可分为： 二、主要控制因素及规律： 1、主要控制因素： ? 晶格错配度 |as- af |/as ：薄膜与基片材料的晶格错配度