CDA系统及制程真空系统简介精讲.pptVIP

压缩干燥空气及 制程真空系统 厂务四处空调课 ~第一单元~ 压缩干燥空气系统 压缩干燥空气系统 系统目的 ?提供低含水量之压缩洁净空气 需求设备 ?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机) ?吸附式干燥机(冷冻式干燥机) ?微粒子过滤器 质量要求(各厂需求略有不同) ?系统末端压力高于7.0kg/cm2 ?空气露点温度低于-70℃(水份含量低于0.12ppm) ?微粒数少于10颗/ft3 压缩干燥空气系统 压力单位 ?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr 大气压力 ?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr 绝对压力 ?表压力+大气压力 压力换算 ?1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi 压缩干燥空气系统 风量单位 ?CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min) 单位换算 ?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH =(3.28ft)3/min=35.3CFM 特定风量条件 ?Standard Condition(SCMM)：1atm、20℃、65%R.H ?Normal