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精品文档 专家推荐国家技术发明奖项目公示 项目名称 激光回馈精密测量技术、仪器及应用 推荐专家1姓名 李同保 推荐专家1工作单位 同济大学 推荐专家1职称 教授，院士 推荐专家1学科专业 计量测试 推荐专家1意见： （注意：多名专家联合推荐时，推荐意见内容可各有侧重，推荐等级应一致。） 传统激光干涉测量技术无法实现激光束直接照射到目标上测量（完全非配合），光路准直困难。这些都是迫切需要解决的重大问题。该申报项目开展激光回馈技术研究，提出了基于激光回馈光场相位和偏振态高精度解调原理，实现精密测量的技术和方法，并基于激光回馈独特的物理效应和发现，发明了激光回馈精密测量仪器，分别用于纳米位移、形变或热膨胀的完全非配合测量，及用于光学元件内应力、双折射的高精度在线实时测量。 该项目获授权发明专利21项，实用新型2项，发表论文40篇，SCI收录37篇，其中，13篇论文的影响因子大于3，获得国内外学术界的高度评价。研制的仪器在20多个科研和生产单位获得广泛应用，获得重大经济和社会效益。 推荐人参加了该成果的鉴定会，也了解其高度精密的技术指标和独特的测量能力，是纳米分辨力的新原理测量技术和光学相位延迟测量的重大突破，属国内外首创。 该项目成果推动了激光干涉测量技术的发展，产业应用前景和促进科技进步的作用巨大。 推荐该项目申报2017年国家技术发明二等奖。 推荐专家2姓名 周炳琨 推荐专家2工作单位 清华大学 推荐专家2职称 教授，院士 推荐专家2学科专业 激光、光电子 推荐专家2意见： （注意：多名专家联合推荐时，推荐意见内容可各有侧重，推荐等级应一致。） 激光因其优良的光束性能而应用广泛，精密测量即其中之一。精密测量技术的发展依赖于激光技术的发展。而自从上世纪90年代以来，精密测量领域就缺少重大技术突破。针对这一现状，该项目从源头出发，深入研究激光技术，尤其是激光回馈技术，获得了一系列原创性的物理现象发现。基于这些发现，引申出精密测量仪器的原理，进而发明了激光回馈精密测量仪器，解决了该领域在非配合目标完全非接触测量方面的难题，在多个单位获得了广泛的应用，获得了用户的高度评价。 该项目获授权发明专利21项，实用新型2项，发表论文40篇，SCI收录37篇，其中，13篇论文的影响因子大于3，获得国内外学术界的高度评价。 该成果灵活利用了激光器的原理，激光技术，干涉技术和光学相位延迟测量的重大突破，属国内外首创，具有高度精密的技术指标和独特的能力。 该成果已经并将持续产生广泛而深远的影响，产生巨大的经济效益。 推荐该项目申报2017年国家技术发明二等奖。 推荐专家3姓名 李天初 推荐专家3工作单位 中国计量科学研究院 推荐专家3职称 研究员，院士 推荐专家3学科专业 精密计量 推荐专家3意见： （注意：多名专家联合推荐时，推荐意见内容可各有侧重，推荐等级应一致。） 信息的获取是其它任何技术发展的前提和基础。而作为信息获取的主要手段，测量技术，尤其是精密测量技术，在很多关键领域发挥了重要的作用，如：科学前沿，超精密制造。目前这些领域急需用于非配合目标的高精密直接测量技术。针对这一难题，该项目持续10多年研究激光回馈效应，尤其是在精密测量方面的应用，获得了原创性的发现，发明了利用激光回馈对测量信号的放大效应实现非配合目标纳米测量的技术，并研制成纳米位移和元件内应力测量方面的精密仪器，在科研院所和生产企业获得广泛应用，产生了巨大的影响。 该项目获授权发明专利21项，实用新型2项，发表论文40篇，SCI收录37篇，其中，13篇论文的影响因子大于3，获得国内外学术界的高度评价。 该申报的仪器属国内外首创，具有独特的能力和高度精密的技术指标，使用方便。 该项目成果是精密测量领域的一个重大技术突破，促进科技进步的作用巨大。 推荐该项目申报2017年国家技术发明二等奖。 项目简介： 激光干涉测量技术代表着精密测量的最高水准，在大科学工程，如引力波探测、神光项目等；及超精密加工，如晶圆光刻机和精密数控机床等重大领域发挥着基础作用。但是，自上世纪90年代以来，该领域就缺少重大技术突破，诸多局限性未得到解决。如：现有激光干涉仪必须配合靶镜使用，而大量的科学前沿和超精密加工中急需无配合目标的直接测量技术；此外，缺少光学波片/玻璃内应力在线测量的方法和仪器,或导致生产成品率低，或分辨力、精度太低。针对上述难题，该项目发明了激光回馈光场相位和偏振态高精度解调的原理及系列技术，是激光干涉技术的一大突破，已获得广泛应用。主要发明点如下： 提出了该项目的总体技术路线，发明了基于激光回馈的光场相位和偏振态高精度解调的原理和技术。激光相位和偏振态的高精度解调是重大的技术问题，激光回馈的光场相位和偏振态解调更是如此。激光回馈：激光束照射被测目标，反射光（