基于五棱镜扫描法的波前系统探究.pdfVIP

第39卷第2期 光学仪器 V01．39，No．2 2017年4月 OPTICALINSTRUMENTS April，2017 文章编号：1005—5630(2017)02—0053—05 基于五棱镜扫描法的波前系统研究 刘齐卉芝1，何勇2 (1，西安工业大学光电工程学院，陕西西安710032； 2．南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏南京210094) 摘要：为检测基于五棱镜扫描法的大口径光学系统波前检测法，以口径为513mm的仿真模拟 波面为被测波面进行模拟仿真检测试验，使用通光口径为5mm的五棱镜对被测波面进行模拟 二维扫描检测。根据实验结果拟舍出被测波面的二维特性曲线，再利用二维特性曲线对被测波 面进行三维拟合，并分析实验中可能存在的误差。实验结果表明，模拟波面与被测波面吻合，证 实了这种方法可行并且在一定条件下能进行高精度检测。 关键词：五棱镜；波前检测；大口径光学波面；模拟仿真