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6.2.2 压电式传感器的测量电路 由于压电式传感器的输出电信号很微弱，通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中，经过阻抗交换以后，方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中。(其中，测量电路的关键在于高阻抗输入的前置放大器。） 前置放大器的作用：一是将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出；二是放大传感器输出的微弱电信号。 前置放大器电路有两种形式：一是用电阻反馈的电压放大器，其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比；另一种是用带电容板反馈的电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。由于电荷放大器电路的电缆长度变化的影响不大，几乎可以忽略不计，故而电荷放大器应用日益广泛。 压电传感器接放大器的等效电路  （a） 放大器电路; （b） 等效电路 1. 电压放大器（阻抗变换器） 电压放大器有很好的高频响应，但是，当作用于压电元件的力为静态力（ω=0）时， 电压放大器的输出电压等于零， 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉， 所以压电传感器不能用于静态力的测量。 Cc为连接电缆电容，当电缆长度改变时，Cc也将改变，因而Uim也随之变化。因此，压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换， 否则将引入测量误差。 2. 电荷放大器 2. 电荷放大器 电荷放大器的输出电压uo只取决于输入电荷与反馈电容Cf，与电缆电容Cc无关，且与q成正比，因此，采用电荷放大器时，即使连接电缆长度在百米以上，其灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的最大特点。 并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大，适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的场合 串联接法输出电压大，本身电容小，适宜用于以电压作输出信号，并且测量电路输入阻抗很高的场合 6.3 压电传感器的应用 6.3 压电传感器的应用 高分子压电材料 某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后，具有一定的压电性能，这类薄膜称为高分子压电薄膜。目前出现的压电薄膜有聚二氟乙烯PVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC、聚偏四氟乙烯PVDF等。 高分子压电材料是一种柔软的压电材料，不易破碎，可以大量生产和制成较大的面积。 6.3 压电传感器的应用 PVDF(聚偏四氟乙烯)压电薄膜传感器 压电常数较大，压电输出电压高 质轻且柔韧性好，能够紧贴皮肤 频带较宽 已知某压电式传感器测量低信号频率f =1Hz，现要求在1Hz信号频率时其灵敏度下降不超过5%，若采用电压前置放大器输入回路总电容C1 = 500pF。求该前置放大器输入总电阻Ri是多少？ 如图所示电荷前置放大器电路，已知Ca = 100pF ，Ra =∞，CF =10pF。若考虑引线Cc的影响，当A0 =104时，要求输出信号衰减小于1%。求使用90pF/m的电缆其最大允许长度为多少？ 第6章 压电式传感器 6.1 压电效应 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 F － － － － － － ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ F F F ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 逆压电效应 电能 机械能 正压电效应 6.1.2 石英晶体的压电效应 纵轴Z称为光轴，通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴，与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 （a） y x z O x a z y b c （b） 把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应” 把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应” 沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应 压电式传感器主要是利用纵向压电效应 (a) x y (b) + x y + + - - - 石英晶体产生压电效应的微观机理 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 (a) Fx=0 x y + P1 P2 P3 - - + + - 因为P = qL（q为电荷量，L为 正负电荷之间的距离），此时 正负电荷中心重合，电偶极矩 的矢量和等于零，即 P1+P2+P3＝0 所以晶体表面不产生电荷，呈电中性。 (b) Fx0 x