安全工作标准SOP.DOCVIP

安全工作標準（SOP） 作業種類：化學作業 分類編號： 單位作業名稱：做Phos. Predep 後Cleaning 訂定日期：89.03.01 作業方式：個人作業 修定日期： 處理物品： wafer 修定次數： 使用器具：PE板臺面HOOD、、燒杯、鑷子 標準製作人：彭兆光 、加熱板 、晶舟 防護器具：排氣櫃、面罩、PVC手套、口罩 工作步驟 工作方法 不安全因素 安全措施 事故處理 著用安全防 護具 帶口罩、手套、面罩。  HF之處理應特別小心，勿觸及皮膚，若一旦觸及迅用水流沖洗再用葡萄酸鈣或蘇打水中和。酸鹼勿觸及皮膚，若一旦觸及迅用沖眼沖身器用水流沖洗，參照相關藥品之緊急處理手冊處理。  二、使用前檢查 1.檢查hood有無抽氣。 2.hood的HiPa、照明、 純 水、氮氣是否正常。 3 .燒杯是否有標示、破 。裂 1.藥品氣味外逸。 2.影響清潔度。 3.燒杯混用會污 染、藥品外逸。 1.2.若無或不正 常暫停實驗。通 知技術員維 修。 3.標示清楚、換新 燒杯。 三、清洗 1. 用HF:H2O=1:15 數 秒鐘。 (不沾水) 2. 沖D.I. water 5。 3. 吹乾進Phos. drive- in(annealing) 爐。 1.將水倒入酸中將 會引起劇烈反 應。etch 過頭。 清洗槽閘門太高，將導致酸 鹼氣氛外洩。 1.酸加入水中。 隨時提起檢 視。 清洗槽閘 門拉至適當位置、以免酸鹼氣氛外洩。 四、完工收拾工作 1.各種酸類使用完後，須 待冷卻後再倒入清洗 槽中，以緩慢沿槽邊的 方式倒入槽中，再以清 水沖洗杯子之後將杯 子以N2-gun 吹乾後放 回原位。 2.不用之燒杯、容器，應 用水洗淨，置放於定 位。3. 化學藥品用畢後，請 把空瓶沖洗兩遍，置 空瓶集中櫃 4.關HiPa、照明、水、 加熱板、拉下hood 滑 門。 a.杯內有酸，未 予標示而隨意放置。 b. 倒出來未用之酸、有機物倒回原來容器中。 3.未沖洗造成回收 人員酌傷。 4. 水、加熱板沒 關，hood 滑門沒 拉下。 1.a.內容日期標 示清楚，加蓋 放置 hood內 側。 b.勿倒回原來容 器中，如a.處 理。 3.確實內外皆沖 洗至少兩遍。放 置在抽氣櫃 內。 4.確實確認才離 開。