多维复用硅基集成光子器件.pdf

ZTETECHNOLOGYJOURNAL 专题 储涛 等 多维复用硅基集成光子器件 DOI：10.3969/j.issn.1009-6868.2017.05.006 网络出版地址：/kcms/detail/34.1228.TN1607.002.html 多维复用硅基集成光子器件多维复用硅基集成光子器件 SiliconPhotonicDevicesforWavelength/Mode/PolarizationMultiplexingSiliconPhotonicDevicesforWavelength/Mode/PolarizationMultiplexing 中图分类号：TN929.5 文献标志码：A 文章编号：1009-6868(2017)05-0030-004 储涛/CHUTao1 郭德汾/GUO Defen2 摘要：从波长、模式、偏振几个维度的复用/解复用和路由出发，分别提出了新颖的 吴维轲/WUWeike1 器件设计方法并制作了相应的硅基光子器件，包括：阵列波导光栅器件（AWG）/刻 （1.浙江大学，浙江 杭州 310027； 蚀衍射光栅器件（EDG）、模式分离合束器件、偏振分离耦合光栅、偏振分离/分离旋 2. 中国科学院半导体研究所，北京 转器件。AWG可以采用一步刻蚀简单工艺制作形成，EDG插损得到大幅降低，模式 100083） (1.ZhejiangUniversity,Hangzhou310027, 分离器件带宽增大，插损也得到降低，偏振分离耦合光栅的耦合效率得到有效提 China； 升，偏振分离/旋转器件的插损和带宽也被显著改进。以上器件全部符合互补金属 2.InstituteofSemiconductors,Chinese AcademyofSciences,Beijing 100083, 氧化物半导体（CMOS）-180 nm工艺标准，这些器件的研制工作为多维度光波复 China) 用/解复用处理及传输提供了先进的器件技术保障。 关键词：波长复用/解复用；模式复用/解复用；偏振控制；硅光器件 Abstract: Inthispaper,varioussiliconphotonicdevicesdesignedforwavelength/ mode/polarizationmultiplexing/demultiplexing areproposed,includingarrayed waveguidegrating(AWG)andetcheddiffractiongrating(EDG),modeMux/DeMux devices,polarizationsplitting gratingcoupler,andpolarizationsplittingrotatingdevice. 着信息社会的高速发展，海量 随数据信息的传输和处理面临着 Withthesenoveldevices,thefollowingresultscanbeachieved:(1)AWGcouldbe formedb