纳米薄膜材料.docVIP

PAGE PAGE 5 纳米薄膜材料 引言： 随着社会生产的发展，仅以强度为主要功能的结构材料越来越不能满足人们的需要，而功能材料的出现弥补了这一不足。功能材料是指除强度外，以其他功能（电、磁、声、光、热等）为主要功能的材料的总称。即为满足某些特定的物理和化学性能要求而制造的材料，就是功能材料。如，电功能材料，磁功能材料，光功能材料，超导材料，储氢材料，形状记忆合金，非晶材料、纳米材料和生物医学材料等等。 纳米材料作为功能材料的一种，较其他材料其具有更为优异的物理化学特性及发展潜力，正在不断的吸引着世界的目光。而且随着电子工业的迅速崛起，使得纳米薄膜材料和技术变得越来越重要，特别在集成电路微型化和微电子方面。 一 纳米材料 1 定义及分类 从狭义上，纳米材料是指纳米颗粒和由它们构成的纳米薄膜和固体。广义上，纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围或由它们作为基本单元构成的材料。按维数，纳米材料的基本单元一般分为三类： eq \o\ac(○,1)零维，指在空间三维尺度均在纳米尺度，如纳米颗粒、原子团簇等； eq \o\ac(○,2)一维，指在空间有两维处于纳米尺度，如纳米棒、纳米线、纳米管等； eq \o\ac(○,3)二维，指在三维空间中有一维在纳米尺度，如薄膜，超晶格等。 2 纳米粒子的特性 （1）小尺寸效应 纳米材料中的微粒尺寸小到与光波波长或德布罗意波波长、超