大气压等离子体射流的产生机理.pdfVIP

摘要 本文首先回顾了各种能够产生大体积、高气压非平衡等离子体源的方法，以及正在 高速发展的大气压非平衡等离子体源。着重介绍了—种大气压非平衡等离子体沥}_—等 离子体射流的发展过程。建立一个大气压下非平衡等离子体放电的理论模型，来研究大 气压等离子子体射流内部的电子和离子的空间和时间分布。这个理论模型主要是由电子 离子的连续胜方程和等离子体空间内泊松方程构成的。本文采用差分的方法来解这组方 程，而对积累在介质阻挡层上的面电荷密度，这里采用一个均匀分布的体电荷密度来代 替。结果，计算了不同的电源频率和电压下，等离子体内部电子和离子随着时间和空间 演化规律。 在实验上分析和比较了不同的放电气流、不同的放电气体、不同的放电电压以及不 同的外电极和不同的放电电源频率下的所得到的放电现象。和理论模拟的结果相比较得 出的主要结论为：高频电源放电达到平衡时产生的等离子体密度分布是非常不均匀的， 并且这个密度分布和初始的本底密度大小无关，但是增加电源电压可以提高等离子体密 度，然而密度的增加幅度并不明显。射频电源放电需要一个比较高的本底密良(本』芪密 度浏氐不能够形成削寺放电)，达到放电平衡时产生的等离子子体密度分布比较均匀，增 加电源电压可以显著的提高等离子体密度。放电气