倒装芯片器件封装.pptVIP

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  • 2019-05-03 发布于江西
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2.2.2印刷法 影响模板印刷工艺质量的因素很多,包括印刷压力、间距高度、环境控制、重熔温度曲线等参数等。 模板制造方法有三种:化学腐蚀、电镀以及激光切割。化学腐蚀模板比较便宜,但精度不高。电镀和激光切割模板精度高,但是比较贵。 2.2.3电镀法 2.2.3电镀法 在电镀法中,形成UBM之后,在焊盘上涂覆光刻胶以形成凸点图案。如上图,光刻胶可决定电镀凸点的形状和高度,因此在电镀凸点前,要去除光刻胶残渣。在电镀液中焊料电镀后,形成的凸点多为蘑菇状。与其他方法相比,电镀凸点成分及其高度控制比较困难,因此多选用共晶钎料,如63Sn/37Pb等。电镀后,去除光刻胶,钎料凸点在进行重熔过程,获得球形凸点。 2.2.4钉头凸点 2.2.4钉头凸点 钉头凸点使用标准连接过程以形成凸点,过程如上图所示。钎料丝的选择通常要求与UBM要求匹配,可使用金丝或铅基钎料丝。凸点形成过程与线连接过程相同,不同之处在于丝端成球后,在球上端加热食指断开,获得的凸点形状多为蘑菇状或钉头状。随后重熔过程可获得具有特定高度的球形凸点。 2.2.5钎料传送法 2.2.5钎料传送法 先在载板上形成凸点,随后转移到连接焊盘。在此钎料凸点形成过程中,要求载板材料应与钎料间不可润湿,多选用硅或耐热玻璃片,凸点形成前首先沉积一薄层(大约100nm)的金,用以提高钎料与载板间的粘附性,保证在钎料润湿并转移到焊盘前不与载板分离。 2.

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