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朱彦斌-ald-al2o3表面钝化性能及电池制备工艺研究
ALD-Al2O3表面钝化性能及电池制备工艺研究;硅片减薄;一、研究背景;硅片厚度降低带来的影响
1）背面复合增加
2）长波光吸收降低
3）电池片翘曲增加 ;怎样解决以上问题？;二、ALD-Al2O3钝化性能研究 ;2.ALD-Al2O3的特点：;3.ALD-Al2O3的钝化性能：;退火温度对Al2O3钝化性能的影响;退火时间对Al2O3钝化性能的影响;Al2O3钝化薄膜的高温稳定性;假设在硅基体中只发生俄歇（Auger）复合，利用S.Glunz等人提出的俄歇复合模型，由
;三、电池制备工艺探讨;背面电极制备的几种方法：;LFC电极金相图像;LFC电极轮廓表征;LFC电极SEM图像;LFC电极区成分分析;电池I-V性能测试;四、结论及展望
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