武汉理工大学工程测试与信号处理第八章 尺寸、位移测量.pdfVIP

长度及线位移测量 武汉理工大学 机电工程学院 长度及线位移测量 在机械加工等生产领域，线位移/尺寸测量是最为常见的被 测量。尺寸测量大多定义为两点、两线或两面之间的距离，如 轴径、孔径、工件的长宽高等。根据尺寸的测量范围又可划分 为常规尺寸测量（1mm~1m）,大尺寸测量（大于1m）和微小 尺寸测量 （小于1mm）。随着技术的快速发展以及数控机床的 需要，被加工尺寸的在线监测也 日趋成熟。加工中测量仪用在 进给式工序的加工机床上，每道工序刀具的进给量均由测得的 被加工尺寸的实际大小确定。 线位移测量从物理学定义就是质点在直线方向位置的变化 量，就测量值而言，线位移测量与尺寸测量实质是一样的。亦 即用于尺寸测量的方法、传感器和仪器大多能用于线位移的测 量。 长度及线位移测量 类 型 测量范围 精确度 性能特点 结构简单、使用方便，输出信号大，不宜于用 滑线电阻器 1~300mm  ±0.1%  于频率较高的动态测量 电阻应变片 ±250µm  ±2%  结构牢固、性能稳定、动态特性好 变气隙式 ±0.2mm  结构简单、工作可靠，仅用于小位移测量 模 电感 差动变压器 0.08~300m  ±3%  分辨力较高、输出信号大，动态特性稍差 拟 式 m  式 涡流式 0~5000µm  ±3%  非接触，灵敏度高，动态特性好 ­3  变面积式 10 ~100mm  ±0.005%  结构非常简单，动态特性好 电容 式 变极距式 0.01~200µm  ±0.1%  分辨力很高，线性范围小，结构简单，动态特 性好 霍尔式 ±1.5mm  ±0.5%  结构简单，动态特性好，受温度影响大 ­3  结构简单，体积较大，适合大位移静、动态测 感应同步器 10 ~十米 ±1.5µm/1m  量，用于自动检测和数控机床 （0.5~3）  测量精度、分辨力高，适合大位移静、动态测 ­3  计量光栅 10 ~几米 量，对环境要求较高，价格较贵，用于自动检 数 µm/3m  测和数控机床 字 式 ­3  分辨力比光栅和感应同步器低，对环境要求比 磁栅 10 ~几米 ±1µm/1m  感应同步器低，制作工艺简单，容易小型化 结构简单，动态特性好，功耗小，价格便宜， ­3  容栅 10 ~几米 ±5µm/1m  环境适应能力强，容易小型化，广泛用于数显