新型半导体纳米材的主要制备技术.docVIP

简单介绍--新型半导体纳米材料的主要制备技术 新型半导体纳米材料的主要制备技术 李华乐，成立，王振宇，李加元，贺星，瞿烨 (江苏大学电气与信息工程学院，江苏 镇江212013) 1 引言半导体纳米材料的独特性能使其在未来各种电子器件的应用中发挥出重要作用，因而纳米材料／器件是目前业界研发的热点之一。当半导体器件尺寸逐渐减小到纳米量级时，其物理长度与电子自由程相当，载流子的输运过程将呈现出显著的量子力学特征，主要是小尺寸效应、表面与界面效应、量子尺寸效应和宏观隧道效应等，上述效应使纳米半导体器件具有独特且优良的光、电、热和力学性能[1]。按照摩尔定律，集成电路(IC)的集成度每3年增长4倍，特征尺寸每3年缩小倍。图1以微处理器总晶体管数随年份增长为规律，说明了存储器芯片尺寸按摩尔定律缩小的趋势。据预测，到2012年，以硅(Si)、锗(Ge)材料为核心的CMOS电路的图形尺寸将达到35nm或更小。达到这一尺寸后，一系列来自器件本身的物理限制及制备成本的大幅度提高将成为新的研究课题。从某种意义上说，这就是现代硅锗微电子技术的极限。能否克服并超越这一极限，纳米材料制备技术的研究与进展就突显出其重要性[2-4]。因此可以说，只有制备工艺技术不断改进，才能使特征尺寸不断缩小，纳米材料应用空间也才更加广阔。基于此，本文首先简述半导体纳米材料的现状和应用前景，然后重点介绍近年来几种主要的纳米材料制备技术，并分析这些技术各自的优缺点。2 半导体纳米材料的研究现状及应用前景目前半导体纳米材料领域的研究现状是：在性质和微结构研究方面，着重探索其普适规律；在纳米尺寸复合材料的研究方面，亟待发展新型的半导体纳米复合材料；在半导体纳米材料的制备上，需要追求产量大、尺寸可控、表面清洁、趋于多样化的制备方法。半导体纳米材料呈现出诱人的应用前景，主要集中在以下几个方面：作为光催化剂，它能抗菌除臭，分解污水中的有机物，处理重金属离子，净化废气；由于纳米粒子具有大的比表面积、高的表面活性，以及表面活性可以与气氛性气体相互强烈作用等因素，所以纳米微粒对周围环境十分敏感，可以制作各种温度、气体、光和湿度传感器；利用纳米材料优良的光电转化特性，且具较高的界面电荷迁移率，可制作新型的太阳能电池；纳米材料与光纤材料相结合，可进一步提高光纤传导能力，随时提供描述系统状态的准确信息，进而降低功耗。尽管研发半导体纳米材料才刚刚起步，但它的一系列新颖特性己使它成为纳米材料学的一个前沿阵地，相信今后该阵地一定会取得新的进展和新的突破。3 半导体纳米材料的主要制备技术3.1 化学制备法3.1.1 溶胶-凝胶法在诸多纳米粉体的制备法中，溶胶-凝胶法因有独特的优点而被广泛应用。溶胶是固体颗粒分散于液体中形成的胶体，当移去稳定剂粒子或悬浮液时，溶胶粒子形成连续的三维网络结构。凝胶由固体骨架和连续相组成，除去液相后凝胶收缩为干凝胶，将干凝胶煅烧即成为均匀超细粉体。该方法的操作过程大致如下：先将金属醇盐或无机盐类协调水解得到均相溶胶后，加入溶剂、催化剂和螯合剂等形成无流动水凝胶，再在一定的条件下转化为均一凝胶，然后除去有机物、水和酸根，最后进行干燥处理得到超细化粉体。溶胶-凝胶法具有许多优点：由于反应在各组分的混合分子间进行，所以粉体的粒径小且均匀性高；反应过程易于控制，可获得一些其他方法难以得到的粉体；不涉及高温反应，能避免引入杂质，产品纯度高。但是溶胶-凝胶法在制备粉体过程中同样有许多因素影响到粉体的形成和性能。因为醇盐的水解和缩聚反应是均相溶液转变为溶胶的根本原因，故控制醇盐水解缩聚条件是制备高质量溶胶的关键。溶胶-凝胶法的另一主要问题是纳米粒子之间发生自团聚，进而形成较大的粒子。引起团聚的原因很多，国内外已有学者从热力学的角度探讨了溶胶不稳定性，认为高分子及表面活性剂是较好的纳米粒子稳定剂。总起来说，溶胶-凝胶法制备设备简单、成本低，适宜大面积制膜和批量生产，有望成为开发新型纳米功能薄膜材料的方法。3.1.2 微乳液法微乳液是由油、水、乳化剂和助化剂组成各相同性、热力学性能稳定的透明或半透明胶体分散体系，其分散相尺寸为纳米级。从微观的角度分析，用表面活性剂界面膜所稳定的微乳液制备超细颗粒，此超细颗粒的特点是：粒子表面包裹一层表面活性剂分子，使粒子间不易聚结；通过选择不同的表面活性剂分子可以对粒子表面进行修饰，并控制微粒的大小。制备纳米粒子的微乳液往往是W/O(油包水乳液)型体系，该体系的水核是一个微型反应器，水核内超细微粒的3种形成机理见表1。微乳液法作为一种新的制备纳米材料方法，具有实验装置简单、操作方便、应用范围广和能够控制颗粒的粒度等优点。目前该方法逐渐引起人们的重视，因而有关微乳体系的研究日益增多，但研究尚